Susceptores dos portadores da bolacha da grafite MOCVD do revestimento SiC

Breve descrição:

O susceptor MOCVD revestido com SiC da VET Energy para crescimento epitaxial é um produto de alto desempenho projetado para fornecer desempenho consistente e confiável por um período prolongado. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer.

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Portadores/susceptores de wafer MOCVD de grafite com revestimento SiC

Todos os nossos susceptores são feitos de grafite isostática de alta resistência. Beneficie-se da alta pureza de nossos grafites – desenvolvidos especialmente para processos desafiadores como epitaxia, crescimento de cristais, implantação iônica e gravação de plasma, bem como para a produção de chips LED.

Características dos nossos produtos:

1. Resistência à oxidação em altas temperaturas de até 1700 ℃.
2. Alta pureza e uniformidade térmica
3. Excelente resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sal e reagentes orgânicos.
4. Alta dureza, superfície compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e mais durável

DCV SiC薄膜基本物理性能 Propriedades físicas básicas do CVD SiCrevestimento
性质 / Propriedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura Cristalina	Fase β do FCC多晶, 主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21g/cm³
硬度 / Dureza	2500 unidades (carga de 500g)
晶粒大小 /Tamanho do grão	2~10μm
纯度 / Pureza Química	99,99995%
热容 / Capacidade de calor	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de Sublimação	2700°C
抗弯强度 / Resistência à flexão	415 MPa RT de 4 pontos
杨氏模量 / Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
导热系数 / TermaeuCondutividade	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansão Térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy é o verdadeiro fabricante de produtos personalizados de grafite e carboneto de silício com diferentes revestimentos, como revestimento SiC, revestimento TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc., pode fornecer várias peças personalizadas para a indústria de semicondutores e fotovoltaica.

Nossa equipe técnica vem das principais instituições de pesquisa nacionais e pode fornecer soluções de materiais mais profissionais para você.

Desenvolvemos continuamente processos avançados para fornecer materiais mais avançados e desenvolvemos uma tecnologia patenteada exclusiva, que pode tornar a ligação entre o revestimento e o substrato mais firme e menos propensa a descolamento.

Calorosamente bem-vindo para visitar nossa fábrica, vamos discutir mais!