Grafitowy nośnik / susceptor pokryty SiC

Krótki opis:

Grafitowy nośnik/podpora VET Energy SiC Coated Graphite Carrier to produkt o wysokiej wydajności, zaprojektowany w celu zapewnienia stałego i niezawodnego działania przez dłuższy czas. Ma bardzo dobrą odporność na ciepło i jednorodność termiczną, wysoką czystość, odporność na erozję, co czyni go idealnym rozwiązaniem do zastosowań w przetwarzaniu płytek.

Wyślij e-mail do nas Pobierz jako plik PDF

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Suscetpor pokryty SiC jest kluczowym komponentem stosowanym w różnych procesach produkcji półprzewodników. Używamy naszej opatentowanej technologii, aby wytwarzać suscetpor pokryty SiC o wyjątkowo wysokiej czystości, dobrej jednorodności powłoki i doskonałej żywotności, a także wysokiej odporności chemicznej i właściwościach stabilności termicznej.

Cechy naszych produktów:

1. Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze do 1700 ℃.
2. Wysoka czystość i jednorodność termiczna
3. Doskonała odporność na korozję: kwasy, zasady, sól i odczynniki organiczne.
4. Wysoka twardość, zwarta powierzchnia, drobne cząstki.
5. Dłuższa żywotność i trwałość

CVD SiC薄膜基本物理性能 Podstawowe właściwości fizyczne CVD SiCpowłoka
性质 / Nieruchomość	典型数值 / Typowa wartość
晶体结构 / Struktura kryształu	Faza β FCC多晶, 主要为 (111) 取向
密度 / Gęstość	3,21 g/cm3
硬度 / Twardość	2500 维氏硬度 (ładunek 500g)
晶粒大小 / ROZMIAR ZIARNA	2 ~ 10 μm
纯度 / Czystość chemiczna	99,99995%
热容 / Pojemność cieplna	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacji	2700 ℃
抗弯强度 / Wytrzymałość na zginanie	415 MPa RT 4-punktowy
杨氏模量 / Moduł Younga	Zakręt 430 Gpa, 4-punktowy, 1300 ℃
导热系数 / TermalPrzewodność	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Rozszerzalność cieplna (CTE)	4,5×10^-6K^-1