Bęben półksiężycowy pokryty SiC, stosowany w sprzęcie epitaksjalnym SiC

Krótki opis:

Wprowadzenie produktu i zastosowanie: podłączona rurka kwarcowa, może przepuszczać gaz w celu napędzania obrotu podstawy tacy, kontrola temperatury

Lokalizacja urządzenia produktu: w komorze reakcyjnej, nie w bezpośrednim kontakcie z płytką

Główne produkty wtórne: urządzenia energetyczne

Główny rynek terminali: nowe pojazdy energetyczne

 


Szczegóły produktu

Tagi produktów

Część półksiężycowa z powłoką SiC z grafituis a klawiszkomponent stosowany w procesach produkcji półprzewodników, zwłaszcza w sprzęcie epitaksjalnym SiC.Do wykonania części półksiężyca wykorzystujemy naszą opatentowaną technologięwyjątkowo wysoka czystość,Dobrypowłokajednolitośći doskonałą żywotność, jak równieżwysoka odporność chemiczna i stabilność termiczna.

Energia VET jest theprawdziwy producent niestandardowych wyrobów z grafitu i węglika krzemu z powłoką CVD,może dostarczyćróżnyniestandardowe części dla przemysłu półprzewodników i fotowoltaiki. OTwój zespół techniczny pochodzi z najlepszych krajowych instytucji badawczych i może zapewnić bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowedla ciebie.

Stale rozwijamy zaawansowane procesy, aby dostarczać bardziej zaawansowane materiały,Iopracowali ekskluzywną, opatentowaną technologię, która może sprawić, że połączenie powłoki z podłożem będzie mocniejsze i mniej podatne na odrywanie.

FSkład naszych produktów:

1. Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze do 1700.
2. Wysoka czystość irównomierność termiczna
3. Doskonała odporność na korozję: kwasy, zasady, sól i odczynniki organiczne.
4. Wysoka twardość, zwarta powierzchnia, drobne cząstki.
5. Dłuższa żywotność i trwałość

CVD SiC薄膜基本物理性能

Podstawowe właściwości fizyczne CVD SiCpowłoka

性质 / Nieruchomość

典型数值 / Typowa wartość

晶体结构 / Struktura kryształu

Faza β FCC多晶, 主要为 (111) 取向

密度 / Gęstość

3,21 g/cm3

硬度 / Twardość

2500 维氏硬度 (ładunek 500g)

晶粒大小 / ROZMIAR ZIARNA

2 ~ 10 μm

纯度 / Czystość chemiczna

99,99995%

热容 / Pojemność cieplna

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura sublimacji

2700 ℃

抗弯强度 / Wytrzymałość na zginanie

415 MPa RT 4-punktowy

杨氏模量 / Moduł Younga

Zakręt 430 Gpa, 4-punktowy, 1300 ℃

导热系数 / TermalPrzewodność

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Rozszerzalność cieplna (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Serdecznie zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki, porozmawiajmy dalej!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Poprzedni:
  • Następny:

  • Czat online WhatsApp!