SiC-belagt suscetpor er en nøkkelkomponent som brukes i ulike halvlederproduksjonsprosesser. Vi bruker vår patenterte teknologi for å lage den SiC-belagte suscetporen med ekstremt høy renhet, god beleggsenhet og utmerket levetid, samt høy kjemisk motstandsdyktighet og termiske stabilitetsegenskaper.
Egenskaper til våre produkter:
1. Høy temperatur oksidasjonsmotstand opp til 1700 ℃.
2. Høy renhet og termisk jevnhet
3. Utmerket korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
4. Høy hardhet, kompakt overflate, fine partikler.
5. Lengre levetid og mer holdbar
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiCbelegg | |
| 性质 / Eiendom | 典型数值 / Typisk verdi |
| 晶体结构 / Krystallstruktur | FCC β-fase多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Tetthet | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hardhet | 2500 维氏硬度（500g belastning） |
| 晶粒大小 / Kornstørrelse | 2~10μm |
| 纯度 / Kjemisk renhet | 99,99995 % |
| 热容 / Varmekapasitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Bøyestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
| 杨氏模量 / Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalKonduktivitet | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk ekspansjon (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Hjertelig velkommen til å besøke fabrikken vår, la oss diskutere videre!
