SiC Coated Barrel Susceptor

Kort beskrivelse:

VET Energy SiC Coated Barrel Susceptor er et høyytelsesprodukt designet for å gi konsistent og pålitelig ytelse over en lengre periode. Den har supergod varmebestandighet og termisk ensartethet, høy renhet, erosjonsmotstand, noe som gjør den til den perfekte løsningen for waferbehandlingsapplikasjoner.

Opprinnelsessted:Kina

Krystallstruktur:FCCβ fase

Tetthet:3,21 g/cm;

Hardhet:2500 Vickers;

Kornstørrelse:2~10μm;

Kjemisk renhet:99,99995 %;

Varmekapasitet:640 J·kg-1·K-1;

Sublimeringstemperatur:2700 ℃;

Feleksural styrke:415 Mpa (RT 4-punkts);

Youngs modul:430 Gpa (4pt bøy, 1300 ℃);

Termisk ekspansjon (CTE):4,5 10-6K-1;

Termisk ledningsevne:300（W/MK）;

Send e-post til oss Last ned som PDF

Produktdetaljer

Produktetiketter

Tønnesusceptor is a nøkkelkomponent som brukes i ulike halvlederproduksjonsprosesser.Vi bruker vår patenterte teknologi for å lagetønnesusceptormedekstremt høy renhet,godbeleggensartethetog en utmerket levetid, samthøy kjemisk motstand og termiske stabilitetsegenskaper.

VET Energy er deekte produsent av tilpassede grafitt- og silisiumkarbidprodukter med CVD-belegg,kan leverediversetilpassede deler for halvleder- og solcelleindustrien. Oditt tekniske team kommer fra topp innenlandske forskningsinstitusjoner, kan tilby mer profesjonelle materialløsningerfor deg.

Vi utvikler kontinuerlig avanserte prosesser for å tilby mer avanserte materialer,oghar utarbeidet en eksklusiv patentert teknologi, som kan gjøre bindingen mellom belegget og underlaget tettere og mindre utsatt for løsrivelse.

Features av våre produkter:

1. Høy temperatur oksidasjonsmotstand opp til 1700℃.
2. Høy renhet ogtermisk ensartethet
3. Utmerket korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
4. Høy hardhet, kompakt overflate, fine partikler.
5. Lengre levetid og mer holdbar

CVD SiC薄膜基本物理性能 Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiCbelegg
性质 / Eiendom	典型数值 / Typisk verdi
晶体结构 / Krystallstruktur	FCC β-fase多晶，主要为（111）取向
密度 / Tetthet	3,21 g/cm³
硬度 / Hardhet	2500 维氏硬度（500g belastning）
晶粒大小 / Kornstørrelse	2~10μm
纯度 / Kjemisk renhet	99,99995 %
热容 / Varmekapasitet	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimeringstemperatur	2700 ℃
抗弯强度 / Bøyestyrke	415 MPa RT 4-punkts
杨氏模量 / Youngs modul	430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃
导热系数 / ThermalKonduktivitet	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termisk ekspansjon (CTE)	4,5×10^-6K^-1