Det foretrukne materialet for presisjonsdeler av fotolitografimaskiner I halvlederfeltet brukes keramiske silisiumkarbidmaterialer hovedsakelig i nøkkelutstyr for produksjon av integrerte kretser, slik som arbeidsbord av silisiumkarbid, styreskinner, reflektorer, keramisk sugechuck, armer,...
Les mer