Hovedfunksjonene tilsilisiumkarbidbåtstøtte og kvartsbåtstøtte er det samme.Silisiumkarbidbåtstøtte har utmerket ytelse, men høy pris. Det utgjør et alternativt forhold til kvartsbåtstøtte i batteribehandlingsutstyr med tøffe arbeidsforhold (som LPCVD-utstyr og bordiffusjonsutstyr). I batteriprosesseringsutstyr med ordinære arbeidsforhold, på grunn av prisforhold, blir silisiumkarbid og kvartsbåtstøtte sameksisterende og konkurrerende kategorier.
① Substitusjonsforhold i LPCVD- og bordiffusjonsutstyr
LPCVD-utstyr brukes til oksidasjon av battericelletunnel og forberedelsesprosessen for dopet polysilisiumlag. Arbeidsprinsipp:
Under lavtrykksatmosfære, kombinert med passende temperatur, oppnås kjemisk reaksjon og avsetningsfilmdannelse for å fremstille ultratynt tunneloksidlag og polysilisiumfilm. I tunneloksidasjonsprosessen og forberedelsesprosessen for dopet polysilisiumlag har båtstøtten høy arbeidstemperatur og en silisiumfilm vil bli avsatt på overflaten. Den termiske ekspansjonskoeffisienten til kvarts er ganske forskjellig fra den til silisium. Når det brukes i prosessen ovenfor, er det nødvendig å regelmessig sylte og fjerne silisiumet som er avsatt på overflaten for å forhindre at kvartsbåtstøtten går i stykker på grunn av termisk ekspansjon og sammentrekning på grunn av den forskjellige termiske ekspansjonskoeffisienten fra silisium. På grunn av hyppig beising og lav høytemperaturstyrke har kvartsbåtholderen kort levetid og skiftes ofte ut i tunneloksidasjons- og dopet polysilisiumlagprepareringsprosessen, noe som øker produksjonskostnadene til battericellen betydelig. Utvidelseskoeffisienten tilsilisiumkarbider nær silisium. Det integrertesilisiumkarbidbåtholderen krever ikke beising i klargjøringsprosessen for tunneloksidasjon og dopet polysilisiumlag. Den har høy høytemperaturstyrke og lang levetid. Det er et godt alternativ til kvartsbåtholderen.
Borekspansjonsutstyr brukes hovedsakelig til prosessen med doping av borelementer på N-type silisiumwafer-substratet til battericellen for å forberede P-type emitteren til å danne et PN-kryss. Arbeidsprinsippet er å realisere kjemisk reaksjon og dannelse av molekylær avsetningsfilm i en atmosfære med høy temperatur. Etter at filmen er dannet, kan den diffunderes ved høytemperaturoppvarming for å realisere dopingfunksjonen til silisiumwaferoverflaten. På grunn av den høye arbeidstemperaturen til borekspansjonsutstyret har kvartsbåtholderen lav høytemperaturstyrke og kort levetid i borekspansjonsutstyret. Det integrertesilisiumkarbidbåtholderen har høy høytemperaturstyrke og er et godt alternativ til kvartsbåtholderen i borekspansjonsprosessen.
② Substitusjonsforhold i annet prosessutstyr
SiC båtstøtter har tett produksjonskapasitet og utmerket ytelse. Prisene deres er generelt høyere enn for båtstøtter av kvarts. I generelle arbeidsforhold for cellebehandlingsutstyr er forskjellen i levetid mellom SiC-båtstøtter og kvartsbåtstøtter liten. Nedstrømskunder sammenligner og velger i hovedsak mellom pris og ytelse basert på egne prosesser og behov. SiC-båtstøtter og kvartsbåtstøtter har blitt sameksisterende og konkurransedyktige. Brutto fortjenestemarginen på SiC-båtstøtter er imidlertid relativt høy for tiden. Med nedgangen i produksjonskostnadene for SiC-båtstøtter, vil det også gi en større konkurransekraft for kvartsbåtstøtter dersom salgsprisen på SiC-båtstøtter aktivt synker.
Bruksforhold
Celleteknologiruten er hovedsakelig PERC-teknologi og TOPCon-teknologi. Markedsandelen til PERC-teknologi er 88 %, og markedsandelen til TOPCon-teknologi er 8,3 %. Den samlede markedsandelen til de to er 96,30 %.
Som vist i figuren nedenfor:
I PERC-teknologi kreves båtstøtter for de fremre fosfordiffusjons- og glødingsprosessene. I TOPCon-teknologien kreves båtstøtter for frontbordiffusjon, LPCVD, bakre fosfordiffusjon og glødingsprosesser. For tiden brukes silisiumkarbidbåtstøtter hovedsakelig i LPCVD-prosessen til TOPCon-teknologi, og deres anvendelse i bordiffusjonsprosessen er hovedsakelig verifisert.
Figur Anvendelse av båtstøtter i cellebehandlingsprosessen
Merk: Etter front- og bakbelegget av PERC- og TOPCon-teknologier er det fortsatt lenker som silketrykk, sintring og testing og sortering, som ikke involverer bruk av båtstøtter og ikke er oppført i figuren ovenfor.
Innleggstid: 15. oktober 2024