Silisiumkarbider en hard forbindelse som inneholder silisium og karbon, og finnes i naturen som det ekstremt sjeldne mineralet moissanite. Silisiumkarbidpartikler kan bindes sammen ved sintring for å danne svært hard keramikk, som er mye brukt i applikasjoner som krever høy holdbarhet, spesielt i halvlederprosesjon.
Fysisk struktur av SiC
Hva er SiC-belegg?
SiC-belegg er et tett, slitesterkt silisiumkarbidbelegg med høy korrosjons- og varmebestandighet og utmerket varmeledningsevne. Dette høyrente SiC-belegget brukes først og fremst i halvleder- og elektronikkindustrien for å beskytte waferbærere, baser og varmeelementer fra korrosive og reaktive miljøer. SiC-belegg er også egnet for vakuumovner og prøveoppvarming i høyvakuum, reaktive og oksygenmiljøer.
SiC-belegg med høy renhet
Hva er SiC-beleggingsprosessen?
Et tynt lag av silisiumkarbid avsettes på overflaten av substratet ved hjelp avCVD (kjemisk dampavsetning). Avsetning utføres vanligvis ved temperaturer på 1200-1300°C og den termiske ekspansjonsadferden til substratmaterialet bør være kompatibel med SiC-belegget for å minimere termisk stress.
CVD SIC Belegg FILM KRYSTALL STRUKTUR
De fysiske egenskapene til SiC-belegg gjenspeiles hovedsakelig i høy temperaturmotstand, hardhet, korrosjonsmotstand og varmeledningsevne.
Typiske fysiske parametere er vanligvis som følger:
Hardhet: SiC-belegg har typisk en Vickers-hardhet i området 2000-2500 HV, noe som gir dem ekstremt høy slitasje- og slagfasthet i industrielle applikasjoner.
Tetthet: SiC-belegg har typisk en tetthet på 3,1-3,2 g/cm³. Den høye tettheten bidrar til beleggets mekaniske styrke og holdbarhet.
Termisk ledningsevne: SiC-belegg har høy varmeledningsevne, typisk i området 120-200 W/mK (ved 20°C). Dette gir den god varmeledningsevne i høytemperaturmiljøer og gjør den spesielt egnet for varmebehandlingsutstyr i halvlederindustrien.
Smeltepunkt: silisiumkarbid har et smeltepunkt på ca. 2730°C og har utmerket termisk stabilitet ved ekstreme temperaturer.
Koeffisient for termisk ekspansjon: SiC-belegg har en lav lineær termisk ekspansjonskoeffisient (CTE), typisk i området 4,0-4,5 µm/mK (i 25-1000 ℃). Dette betyr at dimensjonsstabiliteten er utmerket over store temperaturforskjeller.
Korrosjonsbestandighet: SiC-belegg er ekstremt motstandsdyktige mot korrosjon i sterk syre, alkali og oksiderende miljøer, spesielt ved bruk av sterke syrer (som HF eller HCl), deres korrosjonsbestandighet overgår langt den for konvensjonelle metallmaterialer.
SiC-belegg kan påføres på følgende materialer:
Isostatisk grafitt med høy renhet (lav CTE)
Wolfram
Molybden
Silisiumkarbid
Silisiumnitrid
Karbon-karbon-kompositter (CFC)
SiC-belagte produkter brukes ofte i følgende områder:
LED-brikkeproduksjon
Polysilisium produksjon
Halvlederkrystallvekst
Silisium ogSiC epitaksi
Wafer varmebehandling og etsing
Hvorfor velge VET Energy?
VET Energy er en ledende produsent, innovatør og leder av SiC-beleggsprodukter i Kina, de viktigste SiC-beleggproduktene inkludererwaferbærer med SiC-belegg, SiC-belagtepitaksial susceptor, SiC-belagt grafittring, Halvmånedeler med SiC-belegg, SiC-belagt karbon-karbon kompositt, SiC-belagt oblatbåt, SiC-belagt varmeapparat, etc. VET Energy er forpliktet til å gi halvlederindustrien den ultimate teknologien og produktløsningene, og støtter tilpasningstjenester. Vi ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.
Hvis du har spørsmål eller trenger ytterligere detaljer, ikke nøl med å ta kontakt med oss.
Whatsapp & Wechat: +86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Innleggstid: 18. oktober 2024