SiC gecoate grafiet susceptor voor diepe UV-LED

Korte beschrijving:

VET Energy SiC gecoate susceptor voor LPE epitaxiale groei is een hoogwaardig product dat is ontworpen om consistente en betrouwbare prestaties te leveren gedurende een langere periode.Het heeft een supergoede hittebestendigheid en thermische uniformiteit, hoge zuiverheid en erosiebestendigheid, waardoor het de perfecte oplossing is voor waferverwerkingstoepassingen.

 

 


  • Plaats van herkomst:China
  • Kristal structuur:FCCβ-fase
  • Dikte:3,21 g/cm3;
  • Hardheid:2500 vickers;
  • Korrelgrootte:2~10μm;
  • Chemische zuiverheid:99,99995%;
  • Warmte capaciteit:640J·kg-1·K-1;
  • Sublimatietemperatuur:2700℃;
  • Flexurale sterkte:415 Mpa (RT 4-punts);
  • Young's-modulus:430 Gpa (4pt bocht, 1300℃);
  • Thermische uitzetting (CTE):4,5 10-6K-1;
  • Warmtegeleiding:300 (W/mK);
  • Product detail

    Productlabels

    SiC-gecoate grafietsusceptor voor diepe UV-LED is een sleutelcomponent die wordt gebruikt in verschillende halfgeleiderproductieprocessen.We gebruiken onze gepatenteerde technologie om de siliciumcarbidedrager te maken met een extreem hoge zuiverheid, goede coatinguniformiteit en een uitstekende levensduur, evenals hoge chemische bestendigheid en thermische stabiliteitseigenschappen.

    6 7

    Kenmerken van onze producten:

    1. Oxidatieweerstand op hoge temperatuur tot 1700 ℃.
    2. Hoge zuiverheid en thermische uniformiteit
    3. Uitstekende corrosieweerstand: zuur, alkali, zout en organische reagentia.

    4. Hoge hardheid, compact oppervlak, fijne deeltjes.
    5. Langere levensduur en duurzamer

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    Fysische basiseigenschappen van CVD SiCcoating

    性质 / Eigendom

    典型数值 / Typische waarde

    Ik denk dat dit het geval is / Kristal structuur

    FCC β-fase多晶,主要为(111)取向

    密度 / Dikte

    3,21 g/cm³

    硬度 / Hardheid

    2500 维氏硬度(500g belasting)

    晶粒大小 / Korrelgrootte

    2~10μm

    纯度 / Chemische zuiverheid

    99,99995%

    热容 / Warmte capaciteit

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Sublimatietemperatuur

    2700℃

    Geen probleem / Buigsterkte

    415 MPa RT 4-punts

    杨氏模量 / Young's Modulus

    430 Gpa 4pt bocht, 1300℃

    导热系数 / ThermalGeleidbaarheid

    300W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Thermische uitzetting (CTE)

    4,5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energy is de echte fabrikant van op maat gemaakte grafiet- en siliciumcarbideproducten met verschillende coatings zoals SiC-coating, TaC-coating, glasachtige koolstofcoating, pyrolytische koolstofcoating, enz., Kan verschillende op maat gemaakte onderdelen leveren voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie.

    Ons technische team is afkomstig van de beste binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan meer professionele materiaaloplossingen voor u bieden.

    We ontwikkelen voortdurend geavanceerde processen om meer geavanceerde materialen te leveren, en hebben een exclusieve gepatenteerde technologie uitgewerkt die de hechting tussen de coating en het substraat strakker kan maken en minder snel loslaat.

    Heten u van harte welkom om onze fabriek te bezoeken, laten we verder discussiëren!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户


  • Vorig:
  • Volgende:

  • WhatsApp Onlinechat!