Met SiC gecoat suscetpor is een sleutelcomponent die wordt gebruikt in verschillende productieprocessen van halfgeleiders.We gebruiken onze gepatenteerde technologie om het met SiC gecoate suscetpor te maken met een extreem hoge zuiverheid, goede uniformiteit van de coating en een uitstekende levensduur, evenals hoge chemische bestendigheid en thermische stabiliteitseigenschappen.
Kenmerken van onze producten:
1. Oxidatieweerstand op hoge temperatuur tot 1700 ℃.
2. Hoge zuiverheid en thermische uniformiteit
3. Uitstekende corrosieweerstand: zuur, alkali, zout en organische reagentia.
4. Hoge hardheid, compact oppervlak, fijne deeltjes.
5. Langere levensduur en duurzamer
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Fysische basiseigenschappen van CVD SiCcoating | |
| 性质 / Eigendom | 典型数值 / Typische waarde |
| Ik denk dat dit het geval is / Kristal structuur | FCC β-fase多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Dikte | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hardheid | 2500 维氏硬度(500g belasting) |
| 晶粒大小 / Korrelgrootte | 2~10μm |
| 纯度 / Chemische zuiverheid | 99,99995% |
| 热容 / Warmte capaciteit | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimatietemperatuur | 2700℃ |
| Geen probleem / Buigsterkte | 415 MPa RT 4-punts |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt bocht, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalGeleidbaarheid | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Thermische uitzetting (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Heten u van harte welkom om onze fabriek te bezoeken, laten we verder discussiëren!
