SiC-coating/gecoat grafietsubstraat/lade voor halfgeleiders

Korte beschrijving:

VET Energy SiC gecoate grafiet susceptor voor epitaxiale groei is een hoogwaardig product dat is ontworpen om consistente en betrouwbare prestaties te leveren gedurende een langere periode.Het heeft een supergoede hittebestendigheid en thermische uniformiteit, hoge zuiverheid en erosiebestendigheid, waardoor het de perfecte oplossing is voor waferverwerkingstoepassingen.


Product detail

Producttags

SiC-coating/gecoat van grafiet susceptor voor halfgeleiders
 
SiC-gecoate grafietsusceptor is een sleutelcomponent die wordt gebruikt in verschillende halfgeleiderproductieprocessen.We gebruiken onze gepatenteerde technologie om de siliciumcarbidedrager te maken met een extreem hoge zuiverheid, goede coatinguniformiteit en een uitstekende levensduur, evenals hoge chemische bestendigheid en thermische stabiliteitseigenschappen.

 Functies: 
· Uitstekende weerstand tegen thermische schokken
· Uitstekende weerstand tegen fysieke schokken
· Uitstekende chemische bestendigheid
· Superhoge zuiverheid
· Beschikbaarheid in complexe vorm
· Bruikbaar onder oxiderende atmosfeer

Sollicitatie:

3

Typische eigenschappen van basisgrafietmateriaal:

Schijnbare dichtheid: 1,85 g/cm3
Elektrische weerstand: 11 μΩm
Buigsterkte: 49 MPa (500kgf/cm2)
Kusthardheid: 58
As: <5 ppm
Warmtegeleiding: 116 W/mK (100 kcal/muur-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Fysische basiseigenschappen van CVD SiCcoating

性质 / Eigendom

典型数值 / Typische waarde

晶体结构 / Kristalstructuur

FCC β-fase 多晶,主要为(111)取向

密度 / Dichtheid

3,21 g/cm³

硬度 / Hardheid

2500 维氏硬度(500g belasting)

晶粒大小 / Korrelgrootte

2~10μm

纯度 / Chemische zuiverheid

99,99995%

Warmtecapaciteit

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimatietemperatuur

2700℃

抗弯强度 / Buigsterkte

415 MPa RT 4-punts

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt bocht, 1300℃

Thermische geleidbaarheid

300W·m-1·K-1

Warmte-expansie (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

 

VET Energy is de echte fabrikant van op maat gemaakte grafiet- en siliciumcarbideproducten met verschillende coatings zoals SiC-coating, TaC-coating, glasachtige koolstofcoating, pyrolytische koolstofcoating, enz., Kan verschillende op maat gemaakte onderdelen leveren voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie.

Ons technische team is afkomstig van de beste binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan meer professionele materiaaloplossingen voor u bieden.

We ontwikkelen voortdurend geavanceerde processen om meer geavanceerde materialen te leveren, en hebben een exclusieve gepatenteerde technologie uitgewerkt die de hechting tussen de coating en het substraat strakker kan maken en minder snel loslaat.

Heten u van harte welkom om onze fabriek te bezoeken, laten we verder discussiëren!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Vorig:
  • Volgende:

  • WhatsApp Onlinechat!