Functies:
· Uitstekende weerstand tegen thermische schokken
· Uitstekende weerstand tegen fysieke schokken
· Uitstekende chemische bestendigheid
· Superhoge zuiverheid
· Beschikbaarheid in complexe vorm
· Bruikbaar onder oxiderende atmosfeer
Sollicitatie:
Producteigenschappen en voordelen:
1. Superieure thermische weerstand:Met een hoge zuiverheidSiC-coatingis het substraat bestand tegen extreme temperaturen, waardoor consistente prestaties worden gegarandeerd in veeleisende omgevingen zoals epitaxie en halfgeleiderfabricage.
2. Verbeterde duurzaamheid:De met SiC gecoate grafietcomponenten zijn ontworpen om chemische corrosie en oxidatie te weerstaan, waardoor de levensduur van het substraat wordt verlengd in vergelijking met standaard grafietsubstraten.
3. Glasachtig gecoat grafiet:De unieke glasachtige structuur van deSiC-coatingbiedt uitstekende oppervlaktehardheid, waardoor slijtage tijdens verwerking bij hoge temperaturen wordt geminimaliseerd.
4. SiC-coating met hoge zuiverheid:Ons substraat zorgt voor minimale vervuiling in gevoelige halfgeleiderprocessen en biedt betrouwbaarheid voor industrieën die een strikte materiaalzuiverheid vereisen.
5. Brede markttoepassing:DeSiC-gecoate grafiet susceptorDe markt blijft groeien naarmate de vraag naar geavanceerde SiC-gecoate producten bij de productie van halfgeleiders toeneemt, waardoor dit substraat een belangrijke speler wordt op zowel de markt voor grafietwafeldragers als de markt voor met siliciumcarbide gecoate grafietplaten.
Typische eigenschappen van basisgrafietmateriaal:
| Schijnbare dichtheid: | 1,85 g/cm3 |
| Elektrische weerstand: | 11 μΩm |
| Buigsterkte: | 49 MPa (500kgf/cm2) |
| Kusthardheid: | 58 |
| As: | <5 ppm |
| Thermische geleidbaarheid: | 116 W/mK (100 kcal/muur-℃) |
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Fysische basiseigenschappen van CVD SiCcoating | |
| 性质 / Eigendom | 典型数值 / Typische waarde |
| 晶体结构 / Kristalstructuur | FCC β-fase 多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Dichtheid | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hardheid | 2500 维氏硬度(500g belasting) |
| 晶粒大小 / Korrelgrootte | 2~10μm |
| 纯度 / Chemische zuiverheid | 99,99995% |
| Warmtecapaciteit | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimatietemperatuur | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Buigsterkte | 415 MPa RT 4-punts |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt bocht, 1300℃ |
| Thermische geleidbaarheid | 300W·m-1·K-1 |
| Warmte-expansie (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy is de echte fabrikant van op maat gemaakte grafiet- en siliciumcarbideproducten met verschillende coatings zoals SiC-coating, TaC-coating, glasachtige koolstofcoating, pyrolytische koolstofcoating, enz., Kan verschillende op maat gemaakte onderdelen leveren voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie.
Ons technische team is afkomstig van de beste binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan meer professionele materiaaloplossingen voor u bieden.
We ontwikkelen voortdurend geavanceerde processen om meer geavanceerde materialen te leveren, en hebben een exclusieve gepatenteerde technologie uitgewerkt die de hechting tussen de coating en het substraat strakker kan maken en minder snel loslaat.
Heten u van harte welkom om onze fabriek te bezoeken, laten we verder discussiëren!
