1. Bevestiging vóór het reinigen
1) Wanneer dePECVD grafietboot/carrier meer dan 100 tot 150 keer wordt gebruikt, moet de operator de coatingconditie tijdig controleren. Als er sprake is van een abnormale coating, moet deze worden gereinigd en bevestigd. De normale coatingkleur van de siliciumwafel in de grafietboot/drager is blauw. Als de wafel niet-blauw is, meerdere kleuren heeft of het kleurverschil tussen de wafels groot is, is er sprake van een abnormale coating en moet de oorzaak van de afwijking op tijd worden bevestigd.
2) Nadat het procespersoneel de coatingconditie van de coating analyseertPECVD grafietboot/drager, zij zullen bepalen of de grafietboot moet worden schoongemaakt en of de kaartpunt moet worden vervangen, en de grafietboot/drager die moet worden schoongemaakt, wordt ter reiniging aan het uitrustingspersoneel overgedragen.
3) Na degrafiet boot/drager beschadigd is, haalt het productiepersoneel alle siliciumwafels uit de grafietboot en gebruikt CDA (perslucht) om de fragmenten in de grafietboot te sorterengrafiet boot. Na voltooiing zal het personeel van de apparatuur het in de zuurtank tillen die is voorbereid met een bepaalde hoeveelheid HF-oplossing voor reiniging.
2. Reiniging van grafietboot
Het wordt aanbevolen om een 15-25% fluorwaterstofzuuroplossing te gebruiken voor drie reinigingsrondes, elk gedurende 4-5 uur, en periodiek stikstof te laten borrelen tijdens het week- en reinigingsproces, wat ongeveer een half uur reiniging toevoegt; Let op: het wordt niet aanbevolen om lucht rechtstreeks als gasbron voor het borrelen te gebruiken. Spoel na het beitsen ongeveer 10 uur met zuiver water en controleer of de boot grondig is gereinigd. Controleer na het schoonmaken het oppervlak van de boot, de punt van de grafietkaart, de verbinding van de bootplaat en andere onderdelen om te zien of er resten van siliciumnitride aanwezig zijn. Vervolgens drogen volgens de vereisten.
3. Voorzorgsmaatregelen voor het reinigen
A) Omdat HF-zuur een zeer corrosieve stof is en een zekere vluchtigheid heeft, is het gevaarlijk voor operators. Daarom moeten de operators op de schoonmaakpost veiligheidsmaatregelen nemen en worden beheerd door een toegewijd persoon.
B) Het wordt aanbevolen om de boot te demonteren en tijdens het schoonmaken alleen het grafietdeel schoon te maken, zodat elk contactdeel grondiger kan worden gereinigd. Momenteel maken veel binnenlandse fabrikanten gebruik van algemene reiniging, wat handig is, maar omdat HF-zuur corrosief is voor keramische onderdelen, zal algehele reiniging de levensduur van de overeenkomstige onderdelen verkorten.
Posttijd: 23 december 2024