Plat dan Penutup Dulang Grafit Salutan Silikon Karbida

Plat Dulang Grafit Salutan Silikon Karbida dan Imej Pilihan Penutup

Penerangan ringkas:

VET Energy silikon karbida salutan plat grafit dan penutup ialah produk berprestasi tinggi yang direka untuk memberikan prestasi yang konsisten dan boleh dipercayai dalam tempoh yang panjang. Ia mempunyai rintangan haba yang sangat baik dan keseragaman haba, ketulenan tinggi, rintangan hakisan, menjadikannya penyelesaian yang sempurna untuk aplikasi pemprosesan wafer.

Hantar e-mel kepada kami Muat turun sebagai PDF

Butiran Produk

Tag Produk

Tenaga VETDulang Grafit Salutan Silikon Karbida, Plate dan Cover direka bentuk untuk menyampaikan prestasi peringkat teratas, menyediakan operasi yang boleh dipercayai dan konsisten sepanjang penggunaan lanjutan, menjadikannya pilihan penting untuk aplikasi pemprosesan wafer dalam industri semikonduktor. Prestasi tinggi iniPlat Grafit Salutan Silikon Karbidamempunyai rintangan haba yang luar biasa, keseragaman haba yang unggul, dan kestabilan kimia yang luar biasa, terutamanya dalam keadaan suhu tinggi. Pembinaan ketulenan tingginya, ditambah dengan rintangan hakisan yang maju, menjadikannya amat diperlukan untuk persekitaran yang mencabar sepertiSuseptor MOCVD.

Ciri Utama Dulang, Plat dan Penutup Grafit Salutan Silikon Karbida

1. Rintangan Pengoksidaan Suhu Tinggi:Menahan suhu sehingga 1700 ℃, membolehkannya berfungsi dengan pasti dalam keadaan yang melampau.

2. Ketulenan Tinggi dan Keseragaman Terma:Ketulenan tinggi yang konsisten dan pengagihan haba yang sekata adalah penting untuk aplikasi MOCVD.

3. Rintangan Kakisan Luar Biasa:Tahan kepada asid, alkali, garam, dan pelbagai reagen organik, memastikan kestabilan jangka panjang dalam persekitaran yang pelbagai.

4. Kekerasan Tinggi dan Permukaan Padat:Mempunyai permukaan yang padat dengan zarah halus, meningkatkan ketahanan keseluruhan dan ketahanan terhadap haus.

5. Dilanjutkan Hayat Perkhidmatan:Direka untuk jangka hayat, mengatasi prestasi konvensionalsuseptor grafit bersalut silikon karbidadalam persekitaran pemprosesan semikonduktor yang keras.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Sifat fizikal asas CVD SiCsalutan
性质 / Harta	典型数值 / Nilai Biasa
晶体结构 / Struktur Kristal	Fasa FCC β多晶，主要为（111）取向
密度 / Ketumpatan	3.21 g/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（500g beban）
晶粒大小 / Saiz Bijirin	2~10μm
纯度 / Ketulenan Kimia	99.99995%
热容 / Kapasiti Haba	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Suhu Sublimasi	2700 ℃
抗弯强度 / Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4 mata
杨氏模量 / Modulus Muda	430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
导热系数 / TermalKekonduksian	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Pengembangan Terma(CTE)	4.5×10^-6K^-1

Kepakaran VET Energy dalam Penyelesaian Grafit dan Silikon Karbida Tersuai

Sebagai pengeluar yang dipercayai, VET Energy pakar dalam suseptor grafit rekaan tersuai dan penyelesaian salutan silikon karbida. Kami menawarkan rangkaian produk yang disesuaikan untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik, termasukKomponen grafit bersalut SiCseperti dulang, pinggan, dan penutup. Barisan produk kami juga termasuk pilihan salutan yang pelbagai, sepertiSalutan SiC untuk MOCVD, Salutan TaC, salutan karbon berkaca, dan salutan karbon pirolitik, memastikan kami memenuhi pelbagai permintaan industri berteknologi tinggi.

Pasukan teknikal kami yang berpengalaman, yang terdiri daripada pakar dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, menyediakan penyelesaian material yang komprehensif untuk pelanggan. Kami terus memperhalusi proses lanjutan kami, termasuk teknologi berpaten eksklusif yang meningkatkan ikatan antara salutan silikon karbida dan substrat grafit, mengurangkan risiko detasmen dan memanjangkan lagi hayat produk.

Aplikasi dan Faedah dalam Pembuatan Semikonduktor

TheSalutan Silicon Carbide untuk MOCVDmenjadikan suseptor grafit ini sangat berkesan dalam persekitaran bersuhu tinggi dan menghakis. Sama ada digunakan sebagai pembawa wafer grafit atau komponen MOCVD lain, suseptor bersalut silikon karbida ini menunjukkan ketahanan dan prestasi yang unggul. Bagi mereka yang mencari penyelesaian yang boleh dipercayai dalamSuseptor grafit bersalut SiCpasaran, dulang grafit bersalut silikon karbida VET Energy, plat dan penutup menawarkan pilihan yang teguh dan serba boleh yang memenuhi permintaan ketat industri semikonduktor.

Dengan memberi tumpuan kepada sains bahan termaju, VET Energy komited untuk menyampaikan penyelesaian grafit bersalut SiC berprestasi tinggi yang memacu inovasi dalam pemprosesan semikonduktor dan memastikan prestasi yang boleh dipercayai dalam semua aplikasi berkaitan MOCVD.

VET Energy ialah pengeluar sebenar produk grafit dan silikon karbida tersuai dengan salutan berbeza seperti salutan SiC, salutan TaC, salutan karbon berkaca, salutan karbon pirolitik, dsb., boleh membekalkan pelbagai bahagian tersuai untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik.

Pasukan teknikal kami berasal dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesional untuk anda.

Kami terus membangunkan proses lanjutan untuk menyediakan bahan yang lebih maju, dan telah menghasilkan teknologi yang dipatenkan eksklusif, yang boleh menjadikan ikatan antara salutan dan substrat lebih ketat dan kurang terdedah kepada detasmen.

Sangat mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami, mari berbincang lebih lanjut!