SiC Coating Graphite MOCVD Wafer Carriers Susceptors

Penerangan ringkas:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth ialah produk berprestasi tinggi yang direka untuk memberikan prestasi yang konsisten dan boleh dipercayai dalam tempoh yang panjang. Ia mempunyai rintangan haba yang sangat baik dan keseragaman haba, ketulenan tinggi, rintangan hakisan, menjadikannya penyelesaian yang sempurna untuk aplikasi pemprosesan wafer.

Hantar e-mel kepada kami Muat turun sebagai PDF

Butiran Produk

Tag Produk

Salutan SiC grafit MOCVD Pembawa wafer/susceptor

Semua suseptor kami diperbuat daripada grafit isostatik berkekuatan tinggi. Manfaat daripada ketulenan tinggi grafit kami – dibangunkan terutamanya untuk proses yang mencabar seperti epitaksi, pertumbuhan kristal, implantasi ion dan etsa plasma, serta untuk pengeluaran cip LED.

Ciri-ciri produk kami:

1. Rintangan pengoksidaan suhu tinggi sehingga 1700 ℃.
2. Ketulenan tinggi dan keseragaman haba
3. Rintangan kakisan yang sangat baik: asid, alkali, garam dan reagen organik.
4. Kekerasan tinggi, permukaan padat, zarah halus.
5. Hayat perkhidmatan yang lebih lama dan lebih tahan lama

CVD SiC薄膜基本物理性能 Sifat fizikal asas CVD SiCsalutan
性质 / Harta	典型数值 / Nilai Biasa
晶体结构 / Struktur Kristal	Fasa FCC β多晶，主要为（111）取向
密度 / Ketumpatan	3.21 g/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（500g beban）
晶粒大小 / Saiz Bijirin	2~10μm
纯度 / Ketulenan Kimia	99.99995%
热容 / Kapasiti Haba	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Suhu Sublimasi	2700 ℃
抗弯强度 / Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4 mata
杨氏模量 / Modulus Muda	430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
导热系数 / TermalKekonduksian	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Pengembangan Terma(CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy ialah pengeluar sebenar produk grafit dan silikon karbida tersuai dengan salutan berbeza seperti salutan SiC, salutan TaC, salutan karbon berkaca, salutan karbon pirolitik, dsb., boleh membekalkan pelbagai bahagian tersuai untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik.

Pasukan teknikal kami berasal dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesional untuk anda.

Kami terus membangunkan proses lanjutan untuk menyediakan bahan yang lebih maju, dan telah menghasilkan teknologi yang dipatenkan eksklusif, yang boleh menjadikan ikatan antara salutan dan substrat lebih ketat dan kurang terdedah kepada detasmen.

Sangat mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami, mari berbincang lebih lanjut!