Pengilang China SiC Coated Graphite MOCVD Epitaxy Susceptor

Pengilang China SiC Bersalut Grafit MOCVD Epitaxy Susceptor Imej Pilihan

Penerangan ringkas:

Ketulenan < 5ppm
‣ Keseragaman doping yang baik
‣ Ketumpatan tinggi dan lekatan
‣ Anti-karat dan rintangan karbon yang baik

‣ Penyesuaian profesional
‣ Masa pendahuluan yang singkat
‣ Bekalan stabil
‣ Kawalan kualiti dan penambahbaikan berterusan

Epitaksi GaN pada Sapphire(LED RGB/Mini/Mikro);
Epitaksi GaN pada Substrat Si(UVC);
Epitaksi GaN pada Substrat Si(Peranti Elektronik);
Epitaksi Si pada Substrat Si(Litar bersepadu);
Epitaksi SiC pada Substrat SiC(Substrat);
Epitaksi InP pada InP

Hantar e-mel kepada kami Muat turun sebagai PDF

Butiran Produk

Tag Produk

MOCVD Susceptor berkualiti tinggi Beli dalam talian di China

Wafer perlu melalui beberapa langkah sebelum ia sedia untuk digunakan dalam peranti elektronik. Satu proses penting ialah epitaksi silikon, di mana wafer dibawa pada suseptor grafit. Sifat dan kualiti suseptor mempunyai kesan penting ke atas kualiti lapisan epitaxial wafer.

Untuk fasa pemendapan filem nipis seperti epitaksi atau MOCVD, VET membekalkan peralatan grafit ultra tulen yang digunakan untuk menyokong substrat atau "wafer". Pada teras proses, peralatan ini, susceptor epitaksi atau platform satelit untuk MOCVD, mula-mula tertakluk kepada persekitaran pemendapan:

Suhu tinggi.
Vakum tinggi.
Penggunaan prekursor gas yang agresif.
Sifar pencemaran, ketiadaan pengelupasan.
Rintangan kepada asid kuat semasa operasi pembersihan

VET Energy ialah pengeluar sebenar produk grafit dan silikon karbida tersuai dengan salutan untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik. Pasukan teknikal kami berasal dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesional untuk anda.

Kami terus membangunkan proses lanjutan untuk menyediakan bahan yang lebih maju, dan telah menghasilkan teknologi yang dipatenkan eksklusif, yang boleh menjadikan ikatan antara salutan dan substrat lebih ketat dan kurang terdedah kepada detasmen.

Ciri-ciri produk kami:

1. Rintangan pengoksidaan suhu tinggi sehingga 1700 ℃.
2. Ketulenan tinggi dan keseragaman haba
3. Rintangan kakisan yang sangat baik: asid, alkali, garam dan reagen organik.
4. Kekerasan tinggi, permukaan padat, zarah halus.
5. Hayat perkhidmatan yang lebih lama dan lebih tahan lama

CVD SiC薄膜基本物理性能 Sifat fizikal asas CVD SiCsalutan
性质 / Harta	典型数值 / Nilai Biasa
晶体结构 / Struktur Kristal	Fasa FCC β多晶，主要为（111）取向
密度 / Ketumpatan	3.21 g/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（500g beban）
晶粒大小 / Saiz Bijirin	2~10μm
纯度 / Ketulenan Kimia	99.99995%
热容 / Kapasiti Haba	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Suhu Sublimasi	2700 ℃
抗弯强度 / Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4 mata
杨氏模量 / Modulus Muda	430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
导热系数 / TermalKekonduksian	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Pengembangan Terma(CTE)	4.5×10^-6K^-1