Bagaimana untuk membersihkan bot grafit PECVD？| Tenaga VET

1. Pengakuan sebelum membersihkan

1) ApabilaBot grafit PECVD/carrier digunakan lebih daripada 100 hingga 150 kali, pengendali perlu menyemak keadaan salutan dalam masa. Sekiranya terdapat salutan yang tidak normal, ia perlu dibersihkan dan disahkan. Warna salutan biasa wafer silikon dalam bot/pembawa grafit adalah biru. Jika wafer mempunyai warna bukan biru, berbilang warna, atau perbezaan warna antara wafer adalah besar, ia adalah salutan yang tidak normal, dan punca keabnormalan perlu disahkan dalam masa.
2) Selepas proses kakitangan menganalisis keadaan salutanBot grafit PECVD/carrier, mereka akan menentukan sama ada bot grafit perlu dibersihkan dan sama ada mata kad perlu diganti, dan bot / pembawa grafit yang perlu dibersihkan akan diserahkan kepada kakitangan peralatan untuk pembersihan.

 

3) Selepasbot grafit/pembawa rosak, kakitangan pengeluaran akan mengeluarkan semua wafer silikon dalam bot grafit dan menggunakan CDA (udara termampat) untuk menyusun serpihan dalambot grafit. Selepas selesai, kakitangan peralatan akan mengangkatnya ke dalam tangki asid yang telah disediakan dengan bahagian penyelesaian HF tertentu untuk pembersihan.

 

2. Pembersihan bot grafit

Adalah disyorkan untuk menggunakan larutan asid hidrofluorik 15-25% untuk tiga pusingan pembersihan, setiap satu selama 4-5 jam, dan secara berkala menggelegak nitrogen semasa proses rendaman dan pembersihan, menambah kira-kira setengah jam pembersihan; nota: tidak disyorkan untuk menggunakan udara secara langsung sebagai sumber gas untuk menggelegak. Selepas penjerukan, bilas dengan air tulen selama kira-kira 10 jam, dan sahkan bahawa bot telah dibersihkan dengan teliti. Selepas pembersihan, sila periksa permukaan bot, titik kad grafit dan sambungan kepingan bot, dan bahagian lain untuk melihat sama ada terdapat sisa silikon nitrida. Kemudian keringkan mengikut keperluan.

3. Langkah berjaga-jaga pembersihan

A) Memandangkan asid HF adalah bahan yang sangat menghakis dan mempunyai kemeruapan tertentu, ia berbahaya kepada pengendali. Oleh itu, pengendali di pos pembersihan mesti mengambil langkah berjaga-jaga keselamatan dan diuruskan oleh orang yang berdedikasi.

B) Adalah disyorkan untuk membuka bot dan hanya membersihkan bahagian grafit semasa pembersihan, supaya setiap bahagian sentuhan dapat dibersihkan dengan lebih teliti. Pada masa ini, banyak pengeluar domestik menggunakan pembersihan keseluruhan, yang mudah, tetapi kerana asid HF menghakis bahagian seramik, pembersihan keseluruhan akan memendekkan hayat perkhidmatan bahagian yang sepadan.