VET energetikaSilicio karbido dangos grafito padėklas, Plokštė ir dangtelis yra sukurti taip, kad užtikrintų aukščiausio lygio našumą, užtikrinant patikimą ir nuoseklų veikimą ilgą laiką, todėl tai yra esminis pasirinkimas puslaidininkių pramonėje. Šis didelio našumoSilicio karbido dangos grafito plokštėpasižymi išskirtiniu atsparumu karščiui, puikiu terminiu vienodumu ir išskirtiniu cheminiu stabilumu, ypač esant aukštai temperatūrai. Dėl didelio grynumo konstrukcijos kartu su pažangiu atsparumu erozijai jis yra nepakeičiamas reiklioje aplinkoje, pvz.MOCVD susceptoriai.
Pagrindinės silicio karbido dangos grafito padėklo, plokštės ir dangčio savybės
1. Atsparumas aukštai temperatūrai:Atlaiko iki 1700 ℃ temperatūrą, todėl patikimai veikia ekstremaliomis sąlygomis.
2. Didelis grynumas ir terminis vienodumas:Nuoseklus didelis grynumas ir tolygus šilumos paskirstymas yra labai svarbūs MOCVD taikymams.
3. Išskirtinis atsparumas korozijai:Atsparus rūgštims, šarmams, druskoms ir įvairiems organiniams reagentams, užtikrina ilgalaikį stabilumą įvairiose aplinkose.
4. Didelis kietumas ir kompaktiškas paviršius:Tankus paviršius su smulkiomis dalelėmis, pagerinantis bendrą patvarumą ir atsparumą dilimui.
5. Pailgintas tarnavimo laikas:Sukurtas ilgaamžiškumui, pranašesnis už įprastąsilicio karbidu dengti grafito susceptoriaiatšiaurioje puslaidininkių apdorojimo aplinkoje.
CVD SiC薄膜基本物理性能 Pagrindinės fizinės CVD SiC savybėsdanga | |
性质 / Turtas | 典型数值 / Tipinė vertė |
晶体结构 / Kristalinė struktūra | FCC β fazė多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Tankis | 3,21 g/cm³ |
硬度 / Kietumas | 2500 维氏硬度 (500 g apkrova) |
晶粒大小 / Grūdų dydis | 2 ~ 10 μm |
纯度 / Cheminis grynumas | 99,99995 % |
热容 / Šilumos talpa | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Sublimacijos temperatūra | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Lanksčioji jėga | 415 MPa RT 4 taškų |
杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃ |
导热系数 / ThermalLaidumas | 300 W · m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Šiluminė plėtra (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
„VET Energy“ specialių grafito ir silicio karbido sprendimų patirtis
Kaip patikimas gamintojas, VET Energy specializuojasi pagal užsakymą sukurtų grafito susceptorių ir silicio karbido dangų sprendimuose. Mes siūlome puslaidininkių ir fotoelektros pramonei pritaikytų gaminių asortimentą, įskaitantSiC dengti grafito komponentaikaip padėklai, lėkštės ir dangčiai. Mūsų gaminių asortimente taip pat yra įvairių dengimo variantų, pvzSiC danga MOCVD, TaC danga, stiklinė anglies danga, ir pirolizinė anglies danga, užtikrinanti, kad patenkintume įvairius aukštųjų technologijų pramonės poreikius.
Mūsų patyrusi techninė komanda, kurią sudaro ekspertai iš geriausių šalies tyrimų institucijų, klientams teikia visapusiškus medžiagų sprendimus. Nuolat tobuliname savo pažangius procesus, įskaitant išskirtinę patentuotą technologiją, kuri pagerina silicio karbido dangos ir grafito pagrindo sukibimą, sumažina atsiskyrimo riziką ir dar labiau pailgina gaminio naudojimo laiką.
Puslaidininkių gamybos taikymas ir pranašumai
TheSilicio karbido danga MOCVDDėl šios priežasties šie grafito susceptoriai yra labai veiksmingi aukštoje temperatūroje, korozinėje aplinkoje. Nesvarbu, ar naudojami kaip grafito plokštelių laikikliai ar kiti MOCVD komponentai, šie silicio karbidu padengti susceptoriai pasižymi puikiu patvarumu ir našumu. Tiems, kurie ieško patikimų sprendimųSiC dengtas grafito susceptoriusrinkoje, „VET Energy“ silicio karbidu dengtas grafito padėklas, plokštė ir dangtis siūlo tvirtą ir universalų variantą, atitinkantį griežtus puslaidininkių pramonės reikalavimus.
Didžiausią dėmesį skirdama pažangiems medžiagų mokslams, VET Energy yra įsipareigojusi teikti aukštos kokybės SiC dengto grafito sprendimus, kurie skatina puslaidininkių apdorojimo naujoves ir užtikrina patikimą veikimą visose su MOCVD susijusiose programose.
„VET Energy“ yra tikras pritaikytų grafito ir silicio karbido gaminių gamintojas su skirtingomis dangomis, tokiomis kaip SiC danga, TaC danga, stiklinė anglies danga, pirolitinė anglies danga ir kt., Gali tiekti įvairias pritaikytas dalis puslaidininkių ir fotovoltinės energijos pramonei.
Mūsų techninė komanda yra iš geriausių vietinių tyrimų institucijų, gali pasiūlyti jums profesionalesnius medžiagų sprendimus.
Mes nuolat plėtojame pažangius procesus, kad gautume pažangesnes medžiagas, ir sukūrėme išskirtinę patentuotą technologiją, dėl kurios dangos ir pagrindo sujungimas tampa tvirtesnis ir mažiau linkęs atsiskirti.
Nuoširdžiai kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje, aptarkime toliau!