Silicio karbidu padengtas grafito substratas puslaidininkiui, MOCVD susceptoriui

Silicio karbidu padengtas grafito substratas, skirtas puslaidininkiams, MOCVD susceptorius Teminis vaizdas

Trumpas aprašymas:

VET Energy SiC Coated Susceptor yra didelio našumo gaminys, sukurtas užtikrinti pastovų ir patikimą veikimą ilgą laiką. Jis turi ypač gerą atsparumą karščiui ir šiluminį vienodumą, aukštą grynumą, atsparumą erozijai, todėl yra puikus sprendimas plokštelių apdorojimui.

Kilmės vieta:Džedziangas, Kinija (žemyninė dalis)

Modelio numeris:Modelio numeris:

Cheminė sudėtis:SiC padengtas grafitas

Lenkimo stiprumas:470 MPa

Šilumos laidumas:300 W/mK

Kokybė:Tobulas

Funkcija:CVD-SiC

Taikymas:Puslaidininkinis / fotovoltinis

Tankis:3,21 g/cc

Šiluminis plėtimasis:4 10-6/K

Pelenai: <5 ppm

Pavyzdys:Galima

HS kodas:6903100000

Siųskite mums el Atsisiųsti kaip PDF

Produkto detalė

Produkto etiketės

VET Energy SiC padengtas susceptoriusyra didelio našumo sprendimas, kruopščiai sukurtas, kad būtų užtikrintas patikimas, pastovus veikimas per ilgą eksploatavimo laiką, atitinkantis griežtus puslaidininkių gamybos reikalavimus. Šis gaminys, pasižymintis išskirtiniu atsparumu karščiui, puikiu terminiu vienodumu ir dideliu grynumu, idealiai tinka MOCVD plokštelių laikikliams ir kitoms plokštelių apdorojimo programoms, kurioms reikalingas stabilumas ir tikslumas. Dėl tvirto atsparumo erozijai jis yra puikus pasirinkimas aplinkoje, kurioje patvarumas ir cheminis atsparumas yra labai svarbūs.

MūsųSiC padengtas grafito susceptoriusyra svarbus puslaidininkių gamybos proceso komponentas, panaudojant išskirtinę patentuotą VET Energy technologiją, kad būtų pasiektas itin aukštas grynumas, puikus dangos vienodumas ir nepaprastas šiluminis stabilumas. Danga pagerina grafito pagrindą, pasižymi dideliu atsparumu cheminėms medžiagoms ir žymiai pailgina tarnavimo laiką. „VET Energy“ atsidavimas kokybei leido sukurti SiC dengtą susceptorių, atitinkantį kintančius grafito plokštelių laikiklių rinkos poreikius, nustatančius aukštus standartus SiC dengtiems grafito jutikliams, naudojamiemsMOCVD procesai.

Pagrindinės SiC dengtų susceptorių savybės:

1. Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje:Atlaiko iki 1700 ℃ temperatūrą, todėl tinka ekstremalioms apdorojimo sąlygoms.

2. Didelis grynumas ir terminis vienodumas:Užtikrina nuoseklius rezultatus, gyvybiškai svarbuMOCVD susceptoriaiir kitos tikslios programos.

3. Puikus atsparumas korozijai:Atsparus rūgštims, šarmams, druskoms ir įvairiems organiniams reagentams.

4. Padidintas paviršiaus kietumas:Kompaktiškas paviršius su smulkiomis dalelėmis, kurios užtikrina didesnį patvarumą ir ilgaamžiškumą.

5. Pailgintas tarnavimo laikas:Sukurtas užtikrinti ilgalaikį veikimą, pranoksta standartinius silicio karbidu dengtus susceptorius atšiaurioje apdorojimo aplinkoje.

„VET Energy“, kaip pirmaujanti gamintoja, specializuojasi pritaikyto grafito irsilicio karbido gaminiaisu įvairiomis dangos galimybėmis, įskaitantSiC danga, TaC danga, stiklinė anglies danga, ir pirolitinė anglies danga. Mes išdidžiai aptarnaujame puslaidininkių ir fotoelektros pramonę, tiekdami silicio karbidu dengtus grafito susceptorius, atitinkančius specifinius eksploatacinius poreikius.

Mūsų techninė komanda, turinti patirties iš geriausių vietinių tyrimų institucijų, yra pasiryžusi tobulinti materialinius sprendimus, atitinkančius besikeičiančiusSiC dengtas grafito susceptoriusrinka. Vykdydama patentuotą procesą, VET Energy sukūrė unikalią technologiją, kuri žymiai pagerina sukibimo stiprumą tarp silicio karbido dangos ir pagrindo, sumažindama atsiskyrimo riziką ir padidindama ilgalaikį patikimumą.

Puslaidininkių apdorojimo programos ir pranašumai

TheSiC danga MOCVDįgalinagrafito susceptoriuskomponentai, kad būtų išlaikytas vientisumas aukštoje temperatūroje ir korozinėje aplinkoje, o tai gyvybiškai svarbu gaminant tikslią puslaidininkių. Šie SiC padengti grafito komponentai yra ypač vertinami procesuose, kuriems reikalingi silicio karbidu dengti susceptoriai.grafito plokštelių laikikliai, kurioms reikalingas didelis terminis stabilumas, grynumas ir atsparumas cheminei erozijai.

Naudodama pažangias silicio karbido dengimo technologijas, „VET Energy“ ir toliau remia grafito plokštelių laikiklių rinką, tiekdama pritaikytus, didelio našumo įrenginius.SiC padengti grafito susceptoriaikurios sprendžia specifinius pramonės iššūkius, pradedant MOCVD procesais ir baigiant didelio grynumo taikymais puslaidininkių srityje.