1. Patvirtinimas prieš valymą
1) KaiPECVD grafito valtis/carrier naudojamas daugiau nei 100–150 kartų, operatorius turi laiku patikrinti dangos būklę. Jei yra nenormali danga, ją reikia nuvalyti ir patvirtinti. Įprasta grafito valtyje / nešiklyje esančios silicio plokštelės dangos spalva yra mėlyna. Jei plokštelė yra ne mėlyna, kelių spalvų arba plokštelių spalvų skirtumas yra didelis, tai yra nenormali danga, todėl reikia laiku patvirtinti anomalijos priežastį.
2) Po proceso personalas analizuoja dangos būklęPECVD grafito valtis/vežėjas, jie nustatys, ar reikia valyti grafitinę valtį ir ar reikia keisti kortelės tašką, o valytina grafito valtis/nešyklė bus perduota įrangos personalui valyti.
3) Po tografito valtis/vežėjas yra pažeistas, gamybos personalas ištrauks visas silicio plokšteles iš grafito valties ir naudos CDA (suspaustą orą), kad išrūšiuotų skeveldrą.grafito valtis. Baigę įrangą darbuotojai pakels jį į rūgšties baką, kuris buvo paruoštas valymui su tam tikra HF tirpalo dalimi.
2. Grafitinės valties valymas
Rekomenduojama trims valymo ciklams, po 4-5 valandoms, naudoti 15-25 % vandenilio fluorido rūgšties tirpalą, o mirkymo ir valymo metu periodiškai išpūsti azotą, pridedant apie pusvalandį valymo; pastaba: nerekomenduojama tiesiogiai naudoti oro kaip dujų šaltinio burbuliavimui. Po marinavimo maždaug 10 valandų skalaukite švariu vandeniu ir įsitikinkite, kad valtis buvo kruopščiai išvalyta. Po valymo patikrinkite valties paviršių, grafito kortelės tašką ir valties lakšto jungtį bei kitas dalis, kad pamatytumėte, ar nėra silicio nitrido likučių. Tada išdžiovinkite pagal reikalavimus.
3. Valymo atsargumo priemonės
A) Kadangi HF rūgštis yra labai ėsdinanti medžiaga ir turi tam tikrą lakumą, ji yra pavojinga operatoriams. Todėl valymo posto operatoriai turi imtis saugos priemonių ir juos valdyti turi paskirtas asmuo.
B) Rekomenduojama valtį išardyti ir valyti tik grafitinę dalį, kad kiekvieną kontaktinę dalį būtų galima išvalyti nuodugniau. Šiuo metu daugelis vietinių gamintojų naudoja bendrą valymą, kuris yra patogus, tačiau kadangi HF rūgštis ėsdina keramines dalis, bendras valymas sutrumpins atitinkamų dalių tarnavimo laiką.
Paskelbimo laikas: 2024-12-23