TaC 코팅 흑연 뚜껑 제조업체

간단한 설명:

Semicera는 점점 더 까다로워지는 요구 사항을 충족하는 탄탈륨 카바이드(TaC) 제품 라인으로 반도체 산업을 선도하고 있습니다.8인치 실리콘 카바이드(SiC) 웨이퍼의 출현으로 다양한 반도체 공정의 온도 요구 사항이 더욱 엄격해졌으며, 특히 에피택시 공정의 온도 요구 사항은 섭씨 2000도 이상에 달할 수 있습니다.탄화규소로 코팅된 흑연과 같은 전통적인 기본 재료는 고온에서 승화되어 에피택셜 공정을 파괴하는 경향이 있습니다.CvD 탄탈륨 카바이드(TaC)는 이 문제에 대한 효과적인 솔루션을 제공하며 최대 섭씨 2300도까지 견딜 수 있고 더 긴 서비스 수명을 제공합니다.탄탈륨 카바이드 코팅 커버 플레이트에 대해 알아보고 고급 솔루션에 대해 자세히 알아보려면 Semicera에 문의해 주셔서 감사합니다.당사의 제품은 에피택시 공정에 탁월한 보호 기능을 제공하고 온도 안정성과 긴 서비스 수명을 보장하여 공정 효율성을 향상시키고 비용을 절감하며 더 큰 성공을 달성하도록 돕습니다.


제품 상세 정보

제품 태그

TaC 코팅은 물리적 기상 증착 기술로 준비된 일종의 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅으로 다음과 같은 특징을 가지고 있습니다.

1. 높은 경도: TaC 코팅 경도가 높고 일반적으로 2500-3000HV에 도달할 수 있으며 우수한 하드 코팅입니다.

2. 내마모성 : TaC 코팅은 내마모성이 매우 뛰어나 사용 중 기계 부품의 마모 및 손상을 효과적으로 줄일 수 있습니다.

3. 우수한 내열성 : TaC 코팅은 고온 환경에서도 우수한 성능을 유지할 수 있습니다.

4. 우수한 화학적 안정성: TaC 코팅은 우수한 화학적 안정성을 가지며 산 및 염기와 같은 많은 화학 반응에 저항할 수 있습니다.

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碳化钽涂层물리特性식물리특성

물리적 특성 TaC 코팅

크기/ 밀도

14.3(g/cm3)

比辐射率 / 비방사율

0.3

热膨胀系数 / 열팽창계수

6.3 10-6/K

努氏硬도/ 경도(홍콩)

2000홍콩

电阻 / 저항

1×10-5 옴*cm

발열결정성 / 열안정성

<2500℃

석재尺寸变化 / 흑연 크기 변경

-10~-20um

涂层厚도 / 코팅 두께

≥20um 일반 값(35um±10um)

 

닝보 VET 에너지 기술 유한 회사는 흑연, 탄화 규소, 세라믹, 표면 처리 등을 다루는 고급 첨단 재료, 재료 및 기술의 생산 및 판매에 중점을 둔 하이테크 기업입니다.이 제품은 광전지, 반도체, 신에너지, 야금 등 분야에서 널리 사용됩니다.

우리 기술팀은 국내 최고의 연구 기관에서 왔으며 보다 전문적인 재료 솔루션을 제공할 수 있습니다.

우리 공장 방문을 따뜻하게 환영합니다. 추가 논의를 합시다!

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