실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 주로 태양광 및 반도체 확산 공정에 사용되는 웨이퍼용 하중 지지 장치입니다. 내마모성, 내식성, 고온 충격 저항, 플라즈마 충격 저항, 고온 지지력, 높은 열전도율, 높은 방열 및 장기간 사용과 같은 특성을 가지며 구부러지고 변형되기 쉽지 않습니다. 당사는 고순도 탄화규소 소재를 사용하여 수명을 보장하고 다양한 수직, 수평 웨이퍼 보트를 포함한 맞춤형 디자인을 제공하고 있습니다.
재료 데이터시트
| 材料재료 | R-SiC |
| 사용온도작동 온도(°C) | 1600°C ( 氧化气氛산화 환경)1700°C ( 还原气氛환원 환경) |
| SiC 용량SiC 함유량(%) | > 99 |
| 자작Si 량Free Si 함량(%) | < 0.1 |
| 체감도부피밀도(g/cm3) | 2.60-2.70 |
| 气孔率겉보기 다공성(%) | < 16 |
| 抗压强도분쇄강도(MPa) | > 600 |
| 常温抗弯强degree냉간 굽힘 강도(MPa) | 80-90 (20°C) |
| 고온발효도열간 굽힘 강도(MPa) | 90-100 (1400°C) |
| 热膨胀系数열팽창계수 @1500°C (10-6/°C) | 4.70 |
| 导熭系数열전도도 @1200°C(W/m•K) | 23 |
| 杨氏模량탄성률(GPa) | 240 |
| 抗熱震性열충격 저항 | 很好매우 좋음 |
닝보 VET 에너지 기술 유한 회사고급 첨단 소재, 재료 및 기술의 생산 및 판매에 중점을 둔 하이테크 기업입니다.포함흑연, 탄화규소, 세라믹, 표면 처리 등. 이 제품은 광전지, 반도체, 신에너지, 야금 등 분야에서 널리 사용됩니다.
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