탄탈륨 카바이드 코팅이 적용된 흑연 세그먼트 링

간단한 설명:

8인치 실리콘 카바이드(SiC) 웨이퍼의 인기로 인해 반도체 공정의 온도 요구 사항이 더욱 엄격해졌습니다.그러나 기존 기본 소재는 고온 환경 테스트를 견딜 수 없으며 승화 및 에피택시 공정 손상이 발생하기 쉽습니다.다행스럽게도 Semicera의 CvD 탄탈륨 카바이드(TaC) 제품은 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공합니다.탄탈륨 카바이드(TaC)는 내열성이 뛰어나고 최대 섭씨 2300도의 극한 온도를 견딜 수 있으며 더 긴 사용 수명을 제공합니다.탄탈륨 카바이드 코팅 커버 플레이트에 대한 맞춤형 옵션을 포함한 고급 솔루션에 대해 자세히 알아보려면 지금 Semicera에 문의하세요.


제품 상세 정보

제품 태그

TaC 코팅은 물리적 기상 증착 기술로 준비된 일종의 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅으로 다음과 같은 특징을 가지고 있습니다.

1. 높은 경도: TaC 코팅 경도가 높고 일반적으로 2500-3000HV에 도달할 수 있으며 우수한 하드 코팅입니다.

2. 내마모성 : TaC 코팅은 내마모성이 매우 뛰어나 사용 중 기계 부품의 마모 및 손상을 효과적으로 줄일 수 있습니다.

3. 우수한 내열성 : TaC 코팅은 고온 환경에서도 우수한 성능을 유지할 수 있습니다.

4. 우수한 화학적 안정성: TaC 코팅은 우수한 화학적 안정성을 가지며 산 및 염기와 같은 많은 화학 반응에 저항할 수 있습니다.

TaC 코팅9
TaC 코팅8

碳化钽涂层물리特性식물리특성

물리적 특성 TaC 코팅

크기/ 밀도

14.3(g/cm3)

比辐射率 / 비방사율

0.3

热膨胀系数 / 열팽창계수

6.3 10-6/K

努氏硬도/ 경도(홍콩)

2000홍콩

电阻 / 저항

1×10-5 옴*cm

발열결정성 / 열안정성

<2500℃

석재尺寸变化 / 흑연 크기 변경

-10~-20um

涂层厚도 / 코팅 두께

≥20um 일반 값(35um±10um)

 

닝보 VET 에너지 기술 유한 회사는 흑연, 탄화 규소, 세라믹, 표면 처리 등을 다루는 고급 첨단 재료, 재료 및 기술의 생산 및 판매에 중점을 둔 하이테크 기업입니다.이 제품은 광전지, 반도체, 신에너지, 야금 등 분야에서 널리 사용됩니다.

우리 기술팀은 국내 최고의 연구 기관에서 왔으며 보다 전문적인 재료 솔루션을 제공할 수 있습니다.

우리 공장 방문을 따뜻하게 환영합니다. 추가 논의를 합시다!

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