私たちはソリューションとサービスを強化し、完成させ続けます。同時に、当社は中国向けの低価格多結晶シリコンインゴット炉用高品質カスタマイズグラファイトヒーターの研究と強化を行うために積極的に活動しています。当社の企業は、最高品質の製造への絶対的な献身と高額な価格のおかげで、急速に規模と人気が成長しました。製品と素晴らしい顧客プロバイダー。
私たちはソリューションとサービスを強化し、完成させ続けます。同時に、私たちは研究と強化を行うために積極的に活動しています。中国黒鉛加熱炉, グラファイト熱場、顧客の要求を満たす高品質の製品を達成するためだけに、当社のすべての製品とソリューションは出荷前に厳格に検査されています。私たちは常に顧客の側の疑問を考えています。なぜなら、あなたが勝ったから、私たちも勝ったのです。
2022 高品質 MOCVD サセプター中国でオンライン購入
見掛け密度: | 1.85g/cm3 |
電気抵抗率: | 11μΩm |
曲げ強度: | 49MPa(500kgf/cm2) |
ショア硬度: | 58 |
灰: | <5ppm |
熱伝導率: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
ウェーハは厚さ約 1 ミリメートルのシリコンのスライスであり、技術的に非常に要求の高い手順のおかげで非常に平坦な表面を持っています。その後の使用により、どの結晶成長手順を採用するかが決まります。例えば、チョクラルスキー法では、多結晶シリコンを溶融し、鉛筆ほどの細さの種結晶を溶融シリコンに浸漬する。次に種結晶を回転させ、ゆっくりと上方に引き上げます。非常に重い巨像、単結晶が得られます。高純度のドーパントを少量添加することで、単結晶の電気的特性を選択することが可能です。結晶は顧客の仕様に従ってドーピングされ、研磨されてスライスに切断されます。さまざまな追加の製造ステップを経た後、顧客は特別なパッケージで指定されたウェーハを受け取ります。これにより、顧客はそのウェーハを生産ラインですぐに使用できるようになります。
ウェーハは、電子デバイスで使用できるようになるまでに、いくつかのステップを通過する必要があります。重要なプロセスの 1 つはシリコン エピタキシーです。このプロセスでは、ウエハーはグラファイト サセプター上に運ばれます。サセプタの特性と品質は、ウェーハのエピタキシャル層の品質に重大な影響を与えます。
エピタキシーや MOCVD などの薄膜堆積フェーズでは、VET は基板または「ウェーハ」をサポートするために使用される超高純度グラファイト機器を供給します。プロセスの中核となるこの装置、MOCVD 用のエピタキシー サセプタまたはサテライト プラットフォームは、まず堆積環境にさらされます。
高温。
高真空。
攻撃的なガス状前駆体の使用。
汚染ゼロ、剥離なし。
洗浄作業中の強酸に対する耐性