SiC bevonatú hordó szuszceptor

Rövid leírás:

A VET Energy SiC Coated Barrel Susceptor egy nagy teljesítményű termék, amelyet úgy terveztek, hogy egyenletes és megbízható teljesítményt nyújtson hosszabb ideig. Szuper jó hőállósággal és termikus egyenletességgel, nagy tisztasággal, erózióállósággal rendelkezik, így tökéletes megoldás az ostyafeldolgozási alkalmazásokhoz.

Származási hely:Kína

Kristály szerkezet:FCCβ fázis

Sűrűség:3,21 g/cm;

Keménység:2500 Vickers;

Szemcseméret:2~10μm;

Kémiai tisztaság:99,99995%;

Hőteljesítmény:640 J·kg-1·K-1;

Szublimációs hőmérséklet:2700 ℃;

Felexurális erő:415 MPa (RT 4-pont);

Young modulusa:430 Gpa (4 pt kanyar, 1300 ℃);

Hőtágulás (CTE):4,5 10-6K-1;

Hővezetőképesség:300 W/MK;

Küldjön e-mailt nekünk Letöltés PDF formátumban

Termék részletek

Termékcímkék

Hordó szuszceptor is a kulcsfontosságúkülönböző félvezető-gyártási folyamatokban használt komponens.Az elkészítéshez szabadalmaztatott technológiánkat használjukhordó szuszceptor-velrendkívül magas tisztaságú,jóbevonategységességeés kiváló élettartam, valamintmagas kémiai ellenállás és hőstabilitási tulajdonságok.

A VET Energy az aegyedi grafit és szilícium-karbid termékek valódi gyártója CVD bevonattal,tud ellátnikülönféleszemélyre szabott alkatrészek a félvezető- és fotovoltaikus ipar számára. Oműszaki csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből érkezik, professzionálisabb anyagi megoldásokat tud nyújtanineked.

Folyamatosan fejlesztünk fejlett folyamatokat, hogy még fejlettebb anyagokat biztosítsunk,ésexkluzív szabadalmaztatott technológiát dolgoztak ki, amely szorosabbá és kevésbé leválóvá teheti a bevonat és az aljzat közötti kötést.

Ftermékeink jellemzői:

1. Magas hőmérsékletű oxidációs ellenállás 1700-ig℃.
2. Nagy tisztaságú éstermikus egyenletesség
3. Kiváló korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
4. Nagy keménység, tömör felület, finom részecskék.
5. Hosszabb élettartam és tartósabb

CVD SiC薄膜基本物理性能 A CVD SiC alapvető fizikai tulajdonságaibevonat
性质 / Ingatlan	典型数值 / Tipikus érték
晶体结构 / Kristályszerkezet	FCC β fázis多晶，主要为（111）取向
密度 / Sűrűség	3,21 g/cm³
硬度 / Keménység	2500 维氏硬度 (500 g-os töltet)
晶粒大小 / Grain Size	2-10 μm
纯度 / Kémiai tisztaság	99,99995%
热容 / Hőteljesítmény	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Szublimációs hőmérséklet	2700 ℃
抗弯强度 / Hajlítóerő	415 MPa RT 4 pontos
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃
导热系数 / ThermalVezetőképesség	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Hőtágulás (CTE)	4,5×10^-6K^-1