vet-china osigurava da svaki DurableLopatica za rukovanje pločicama od silicij karbidaima izvrsne performanse i izdržljivost. Ova lopatica za rukovanje pločicama od silicij karbida koristi napredne proizvodne procese kako bi se osigurala stabilnost strukture i funkcionalnost u okruženjima visoke temperature i kemijske korozije. Ovaj inovativni dizajn pruža izvrsnu podršku za rukovanje poluvodičkim pločama, posebno za automatizirane operacije visoke preciznosti.
SiC konzolno vesloje specijalizirana komponenta koja se koristi u opremi za proizvodnju poluvodiča kao što su oksidacijska peć, difuzijska peć i peć za žarenje, glavna upotreba je za utovar i istovar pločica, podržava i transportuje pločice tijekom visokotemperaturnih procesa.
Uobičajene struktureodSiCcprotupolugapnabrajati se: konzolna struktura, fiksirana na jednom kraju i slobodna na drugom, obično ima ravnu konstrukciju nalik veslu.
radimpprincipodSiCcprotupolugapnabrajati se:
Konzolna lopatica može se kretati gore-dolje ili naprijed-natrag unutar komore peći, može se koristiti za premještanje pločica iz područja utovara u područja obrade ili izvan područja obrade, podupirući i stabilizirajući pločice tijekom obrade na visokoj temperaturi.
| Fizikalna svojstva rekristaliziranog silicijevog karbida | |
| Vlasništvo | Tipična vrijednost |
| Radna temperatura (°C) | 1600°C (s kisikom), 1700°C (reducirajuće okruženje) |
| sadržaj SiC | > 99,96% |
| Besplatni Si sadržaj | < 0,1% |
| Nasipna gustoća | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Prividna poroznost | < 16% |
| Čvrstoća na pritisak | > 600 MPa |
| Čvrstoća na hladno savijanje | 80-90 MPa (20°C) |
| Vruća čvrstoća na savijanje | 90-100 MPa (1400°C) |
| Toplinska ekspanzija @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Toplinska vodljivost @1200°C | 23 W/m•K |
| Modul elastičnosti | 240 GPa |
| Otpornost na toplinski udar | Izuzetno dobro |
