NapredniSiC konzolno veslofor Wafer Processing koju je stvorio vet-china pruža izvrsno rješenje za proizvodnju poluvodiča. Ovo konzolno veslo izrađeno je od materijala SiC (silicijev karbid), a njegova visoka tvrdoća i otpornost na toplinu omogućuju mu da zadrži izvrsne performanse u visokotemperaturnim i korozivnim okruženjima. Dizajn konzolne lopatice omogućuje pouzdanu potporu pločice tijekom obrade, smanjujući rizik od fragmentacije i oštećenja.
SiC konzolno vesloje specijalizirana komponenta koja se koristi u opremi za proizvodnju poluvodiča kao što su oksidacijska peć, difuzijska peć i peć za žarenje, glavna upotreba je za utovar i istovar pločica, podržava i transportuje pločice tijekom visokotemperaturnih procesa.
Uobičajene struktureodSiCcprotupolugapnabrajati se: konzolna struktura, fiksirana na jednom kraju i slobodna na drugom, obično ima ravnu konstrukciju nalik na veslo.
VET Energy koristi rekristalizirane silicij karbidne materijale visoke čistoće kako bi zajamčio kvalitetu.
| Fizikalna svojstva rekristaliziranog silicijevog karbida | |
| Vlasništvo | Tipična vrijednost |
| Radna temperatura (°C) | 1600°C (s kisikom), 1700°C (reducirajuće okruženje) |
| sadržaj SiC | > 99,96% |
| Besplatni Si sadržaj | < 0,1% |
| Nasipna gustoća | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Prividna poroznost | < 16% |
| Čvrstoća na pritisak | > 600MPa |
| Čvrstoća na hladno savijanje | 80-90 MPa (20°C) |
| Vruća čvrstoća na savijanje | 90-100 MPa (1400°C) |
| Toplinska ekspanzija @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Toplinska vodljivost @1200°C | 23W/m•K |
| Modul elastičnosti | 240 GPa |
| Otpornost na toplinski udar | Izuzetno dobro |
Prednosti VET Energy Advanced SiC konzolne lopatice za obradu pločica su:
-Visoka temperaturna stabilnost: može se koristiti u okruženjima iznad 1600°C;
-Niski koeficijent toplinske ekspanzije: održava dimenzijsku stabilnost, smanjujući rizik od krivljenja pločice;
-Visoka čistoća: manji rizik od kontaminacije metala;
-Kemijska inertnost: otporan na koroziju, pogodan za različita plinska okruženja;
-Visoka čvrstoća i tvrdoća: Otporan na habanje, dug životni vijek;
-Dobra toplinska vodljivost: pomaže u ravnomjernom zagrijavanju vafla.
-
SiC pločica od 6 inča tipa N
-
Presvlaka od tantal karbida: otporna na habanje, visoka...
-
24v vodikova goriva ćelija Pemfc Stack 1000w hidrogen...
-
Električni alat za opskrbu vodikovom energijom 220 W Gorivna ćelija...
-
Vodikova goriva ćelija 2000w Pemfc Stack 25v dron...
-
Prilagođeni treni C/C kompoziti visoke čvrstoće (CFC)