Kako očistiti PECVD grafitni čamac？| VET Energy

1. Potvrda prije čišćenja

1) Kada sePECVD grafitni čamac/nosač se koristi više od 100 do 150 puta, operater mora na vrijeme provjeriti stanje premaza. Ako postoji nenormalan premaz, potrebno ga je očistiti i potvrditi. Uobičajena boja premaza silicijske pločice u grafitnom čamcu/nosaču je plava. Ako pločica nije plava, ima više boja ili je razlika u boji između pločica velika, radi se o abnormalnom premazu, a uzrok abnormalnosti treba potvrditi na vrijeme.
2) Nakon procesa osoblje analizira stanje premazaPECVD grafitni čamac/nosač će utvrditi treba li grafitni čamac očistiti i treba li zamijeniti karticu, a grafitni čamac/nosač kojeg je potrebno očistiti će predati osoblju opreme na čišćenje.

 

3) Nakongrafitni brod/nosač je oštećen, proizvodno osoblje će izvaditi sve silikonske pločice u grafitnom čamcu i koristiti CDA (komprimirani zrak) za sortiranje fragmenata ugrafitni brod. Nakon završetka, osoblje opreme podići će ga u spremnik za kiselinu koji je pripremljen s određenim udjelom HF otopine za čišćenje.

 

2. Čišćenje grafitnog broda

Preporuča se korištenje 15-25% otopine fluorovodične kiseline za tri ciklusa čišćenja, svaki po 4-5 sati, i povremeno propuštanje dušika tijekom procesa namakanja i čišćenja, dodajući otprilike pola sata čišćenja; Napomena: ne preporučuje se izravno korištenje zraka kao izvora plina za mjehuriće. Nakon kiseljenja, ispirati čistom vodom oko 10 sati i potvrditi da je plovilo temeljito očišćeno. Nakon čišćenja provjerite površinu plovila, vrh grafitne kartice i spoj limova broda te ostale dijelove kako biste vidjeli ima li ostataka silicijeva nitrida. Zatim osušite prema zahtjevima.

3. Mjere opreza pri čišćenju

A) Budući da je HF kiselina vrlo korozivna tvar i ima određenu hlapljivost, opasna je za operatere. Stoga operateri na mjestu čišćenja moraju poduzeti sigurnosne mjere i njima mora upravljati ovlaštena osoba.

B) Preporuča se rastaviti čamac i tijekom čišćenja čistiti samo grafitni dio, kako bi se svaki kontaktni dio mogao temeljitije očistiti. Trenutačno mnogi domaći proizvođači koriste potpuno čišćenje, što je zgodno, ali budući da je HF kiselina korozivna za keramičke dijelove, cjelokupno čišćenje će skratiti životni vijek odgovarajućih dijelova.