silicij karbid keramički premaz grijač

Vet-KinaSilicij karbid keramikaCoating je visokoučinkoviti zaštitni premaz izrađen od iznimno tvrde i otporne na habanjesilicijev karbid (SiC)materijal koji pruža izvrsnu otpornost na kemijsku koroziju i stabilnost na visoke temperature. Ove karakteristike su presudne u proizvodnji poluvodiča, tako daSilicij karbid keramički premaznaširoko se koristi u ključnim komponentama opreme za proizvodnju poluvodiča.

Specifična uloga Vet-ChinaSilicij karbid keramikaPremazivanje u proizvodnji poluvodiča je kako slijedi:

Povećajte izdržljivost opreme:Keramička prevlaka od silicij-karbida Keramička prevlaka od silicij-karbida pruža izvrsnu površinsku zaštitu za opremu za proizvodnju poluvodiča svojom izuzetno velikom tvrdoćom i otpornošću na trošenje. Osobito u visokotemperaturnim i visoko korozivnim procesnim okruženjima, kao što je kemijsko taloženje iz pare (CVD) i plazma jetkanje, premaz može učinkovito spriječiti oštećenje površine opreme kemijskom erozijom ili fizičkim trošenjem, čime se značajno produžuje vijek trajanja opremu i smanjenje zastoja uzrokovanih čestim zamjenama i popravcima.

Poboljšajte čistoću procesa:U procesu proizvodnje poluvodiča, sitna kontaminacija može uzrokovati kvarove proizvoda. Kemijska inertnost silicij-karbidnog keramičkog premaza omogućuje mu da ostane stabilan u ekstremnim uvjetima, sprječavajući materijal da otpusti čestice ili nečistoće, čime se osigurava ekološka čistoća procesa. Ovo je osobito važno za korake proizvodnje koji zahtijevaju visoku preciznost i visoku čistoću, kao što su PECVD i ionska implantacija.

Optimizirajte upravljanje toplinom:U visokotemperaturnoj obradi poluvodiča, kao što je brza toplinska obrada (RTP) i procesi oksidacije, visoka toplinska vodljivost keramičke prevlake od silicij karbida omogućuje ravnomjernu raspodjelu temperature unutar opreme. To pomaže smanjiti toplinski stres i deformaciju materijala uzrokovanu temperaturnim fluktuacijama, čime se poboljšava točnost i dosljednost proizvodnje proizvoda.

Podržava složena procesna okruženja:U procesima koji zahtijevaju složenu kontrolu atmosfere, kao što su procesi jetkanja ICP i PSS jetkanja, stabilnost i otpornost na oksidaciju keramičke prevlake od silicij karbida osiguravaju da oprema održava stabilne performanse u dugotrajnom radu, smanjujući rizik od degradacije materijala ili oštećenja opreme zbog na promjene okoliša.