SiC Coated Graphite Halfmoon Part Foar Silicon Carbide Epitaxial Equipment

Koarte beskriuwing:

Produktyntroduksje en gebrûk: Ferbûne kwartsbuis, kin gas trochjaan om de rotaasje fan 'e bakbasis te riden, temperatuerkontrôle

Apparaat lokaasje fan it produkt: yn 'e reaksje keamer, net yn direkte kontakt mei de wafer

Main streamôfwerts produkten: macht apparaten

Main terminalmerk: nije enerzjyauto's

 


Produkt Detail

Produkt Tags

SiC Coated Graphite Halfmoon Partis a kaaikomponint brûkt yn semiconductor manufacturing prosessen, benammen foar SiC epitaxial apparatuer.Wy brûke ús patintearre technology om it healmoanne diel mei te meitsjenekstreem hege suverens,goedcoatinguniformiteiten in poerbêste tsjinst libben, lykashege gemyske ferset en termyske stabiliteit eigenskippen.

VET Energy is deechte fabrikant fan oanpaste grafyt- en silisiumkarbidprodukten mei CVD-coating,leverje kinneferskateoanpaste dielen foar semiconductor en fotovoltaïsche yndustry. Our technyske team komt út top ynlânske ûndersyk ynstellings, kin leverje mear profesjonele materiaal oplossingsfoar dy.

Wy ûntwikkelje kontinu avansearre prosessen om mear avansearre materialen te leverjen,enhawwe útwurke in eksklusive patintearre technology, dy't kin meitsje de bonding tusken de coating en it substraat strakkere en minder gefoelich foar losmeitsjen.

Feigenskippen fan ús produkten:

1. Hege temperatuer oksidaasjebestriding oant 1700.
2. Hege suverens entermyske uniformiteit
3. Excellent corrosie ferset: soere, alkali, sâlt en organyske reagents.
4. Hege hurdens, kompakt oerflak, fyn dieltsjes.
5. Langere libbensdoer en duorsumer

CVD SiC薄膜基本物理性能

Basis fysike eigenskippen fan CVD SiCcoating

性质 / Eigenskip

典型数值 / Typyske Wearde

晶体结构 / Crystal Struktuer

FCC β faze多晶,主要为(111)取向

密度 / Tichtheid

3,21 g/cm³

硬度 / Hurdens

2500 维氏硬度(500g lading)

晶粒大小 / Grain Grutte

2~10μm

纯度 / Chemical Purity

99.99995%

热容 / Heat Kapasiteit

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimation Temperatur

2700 ℃

抗弯强度 / Flexural Strength

415 MPa RT 4-punt

杨氏模量 / Jongens Modulus

430 Gpa 4pt bocht, 1300 ℃

导热系数 / ThermalConductivity

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Thermal Expansion (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Fan herte wolkom om ús fabryk te besykjen, litte wy fierdere diskusje hawwe!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Foarige:
  • Folgjende:

  • WhatsApp Online Chat!