SiC coated grafyt susceptor is in kaai komponint brûkt yn ferskate semiconductor manufacturing prosessen. wy brûke ús patintearre technology te meitsjen de susceptor mei ekstreem hege suverens, goede coating uniformiteit en in poerbêste servicelibben, likegoed as hege gemyske ferset en termyske stabiliteit eigenskippen.
Eigenskippen fan ús produkten:
1. Hege temperatuer oksidaasjebestriding oant 1700 ℃.
2. Hege suverens en thermyske uniformiteit
3. Excellent corrosie ferset: soere, alkali, sâlt en organyske reagents.
4. Hege hurdens, kompakt oerflak, fyn dieltsjes.
5. Langere libbensdoer en duorsumer
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Basis fysike eigenskippen fan CVD SiCcoating | |
| 性质 / Eigenskip | 典型数值 / Typyske Wearde |
| 晶体结构 / Crystal Struktuer | FCC β faze多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Tichtheid | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hurdens | 2500 维氏硬度（500g lading） |
| 晶粒大小 / Grain Grutte | 2~10μm |
| 纯度 / Chemical Purity | 99.99995% |
| 热容 / Heat Kapasiteit | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimation Temperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Flexural Strength | 415 MPa RT 4-punt |
| 杨氏模量 / Jongens Modulus | 430 Gpa 4pt bocht, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalConductivity | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Thermal Expansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy is de echte fabrikant fan oanpaste grafyt- en silisiumkarbidprodukten mei ferskate coatings lykas SiC-coating, TaC-coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ensfh.
Us technyske team komt fan top ynlânske ûndersyksynstituten, kin mear profesjonele materiaal oplossings foar jo leverje.
Wy ûntwikkelje kontinu avansearre prosessen om mear avansearre materialen te leverjen, en hawwe in eksklusive patintearre technology útwurke, dy't de ferbining tusken de coating en it substraat strakker meitsje kin en minder gefoelich foar losmeitsjen.
Fan herte wolkom om ús fabryk te besykjen, litte wy fierdere diskusje hawwe!
