1. Erkenning foar skjinmeitsjen
1) Wannear't dePECVD grafyt boat/ carrier wurdt brûkt mear as 100 oan 150 kear, de operator moat kontrolearje de coating betingst yn 'e tiid. As d'r in abnormale coating is, moat it skjinmakke en befêstige wurde. De normale coating kleur fan de silisium wafel yn de grafyt boat / carrier is blau. As de wafel net-blau hat, meardere kleuren, of it kleurferskil tusken de wafels is grut, is it in abnormale coating, en de oarsaak fan 'e abnormaliteit moat op 'e tiid befêstige wurde.
2) Nei it proses personiel analysearje de coating betingst fan dePECVD grafyt boat/ ferfierder, se sille bepale oft de grafyt boat moat wurde skjinmakke en oft de kaart punt moat wurde ferfongen, en de grafyt boat / ferfierder dat moat wurde skjinmakke wurdt oerdroegen oan de apparatuer personiel foar skjinmeitsjen.
3) Nei degrafyt boat/ drager beskeadige is, sil it produksjepersoniel alle silisiumwafels yn 'e grafytboat útnimme en CDA (compressed air) brûke om de fragminten yn 'e te sortearjengrafyt boat. Nei foltôging sil it apparatuerpersoniel it opheffe yn 'e soere tank dy't is taret mei in bepaald oanpart fan HF-oplossing foar skjinmeitsjen.
2. Reiniging fan grafytboat
It is oan te rieden om in 15-25% hydrofluoric acid oplossing te brûken foar trije rûnen fan skjinmeitsjen, elk foar 4-5 oeren, en periodyk bubbling stikstof tidens it soaking en skjinmeitsjen proses, tafoegjen fan likernôch in heal oere fan skjinmeitsjen; notysje: it is net oan te rieden om lucht direkt te brûken as de gasboarne foar bubbeljen. Nei pickling, spielje mei suver wetter foar sawat 10 oeren, en befêstigje dat de boat goed skjinmakke is. Nei it skjinmeitsjen, kontrolearje asjebleaft it oerflak fan 'e boat, it grafytkaartpunt en it skûtelblêd en oare dielen om te sjen oft d'r silisiumnitride-residu is. Dan droech neffens de easken.
3. Cleaning foarsoarchsmaatregels
A) Sûnt HF acid is in tige corrosive stof en hat in bepaalde volatility, it is gefaarlik foar operators. Dêrom moatte operators by de skjinmakpost feiligensmaatregels nimme en wurde beheard troch in tawijd persoan.
B) It is oan te rieden om de boat te disassemble en allinich it grafytdiel by it skjinmeitsjen skjin te meitsjen, sadat elk kontaktdiel mear yngeand skjinmakke wurde kin. Op it stuit brûke in protte ynlânske fabrikanten algemiene skjinmeitsjen, wat handich is, mar om't HF-sûger korrosyf is foar keramyske dielen, sil algemiene reiniging de libbensdoer fan 'e oerienkommende dielen ferkoartje.
Post tiid: Dec-23-2024