Wafer susceptor mei TaC coating foar G5 G10

Koarte beskriuwing:

Semicera liedt de semiconductor-yndustry mei in ynnovative line fan tantaalkarbid (TaC)-produkten om te foldwaan oan 'e hieltyd strakkere easken foar semiconductorproses.Oft wy te krijen hawwe mei epitaksiale prosestemperatueren fan mear as 2000 graden Celsius as sublimaasjeproblemen mei tradisjonele materialen, ús CvD tantaalkarbid (TaC) biedt in betroubere oplossing.Us produkten kinne fernear ekstreme temperatueren oant 2300 graden Celsius en leverje in poerbêste servicelibben.Troch kontakt op te nimmen mei Semicera kinne jo mear leare oer ús avansearre oplossingen, ynklusyf oanpaste opsjes foar tantaalkarbid-coated dekplaten.Wy sette ús yn foar it leverjen fan betroubere beskerming en treflike prestaasjes foar jo semiconductorproses om jo te helpen slagje yn 'e heul konkurrearjende merk.


Produkt Detail

Produkt Tags

TaC coating is in soarte fan tantaal carbide (TaC) coating taret troch fysike damp deposition technology, it hat de folgjende skaaimerken:

1. Hege hurdens: TaC coating hurdens is heech, meastal kin berikke 2500-3000HV, is in poerbêste hurde coating.

2. Wear ferset: TaC coating is tige wear-resistant, dat kin effektyf ferminderjen de wear en skea fan meganyske dielen yn gebrûk.

3. Goede hege temperatuer ferset: TaC coating kin ek behâlde syn treflike prestaasjes ûnder hege temperatuer omjouwing.

4. Goede gemyske stabiliteit: TaC coating hat goede gemyske stabiliteit en kin wjerstean in protte gemyske reaksjes, lykas soeren en basen.

TaC Coating 16
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Fysike eigenskippen fan TaC coating

密度/ Tichtheid

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Spesifike emissivity

0.3

热膨胀系数 / Termyske útwreiding koeffisient

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Hardheid (HK)

2000 HK

电阻 / Ferset

1×10-5 om*cm

热稳定性 / Termyske stabiliteit

<2500 ℃

石墨尺寸变化 / Graphite grutte feroarings

-10~-20um

涂层厚度 / Coating dikte

≥20um typyske wearde (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd is in hege-tech ûndernimming dy't rjochtet op de produksje en ferkeap fan hege-ein avansearre materialen, de materialen en technology covering grafyt, silisium carbide, keramyk, oerflak behanneling ensafuorthinne.De produkten wurde in protte brûkt yn fotovoltaïsche, semiconductor, nije enerzjy, metallurgy, ensfh.

Us technyske team komt fan top ynlânske ûndersyksynstituten, kin mear profesjonele materiaal oplossings foar jo leverje.

Fan herte wolkom om ús fabryk te besykjen, litte wy fierdere diskusje hawwe!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Foarige:
  • Folgjende:

  • WhatsApp Online Chat!