It foarkarsmateriaal foar presysûnderdielen fan fotolitografysmasines Op it semiconductorfjild wurde keramyske materialen fan silisiumkarbid foaral brûkt yn wichtige apparatuer foar fabrikaazje fan yntegreare circuits, lykas silisiumkarbidwurktafel, gidsrails, reflectors, keramyske suction chuck, earms, g ...
Lês mear