De wichtichste funksjes fansilisiumkarbidboatstipe en kwartsboat-stipe binne itselde.Silisiumkarbidboatstipe hat poerbêste prestaasje, mar hege priis. It foarmet in alternative relaasje mei kwartsboat-stipe yn batterijferwurkingsapparatuer mei hurde wurkomstannichheden (lykas LPCVD-apparatuer en boriumdiffusjonsapparatuer). Yn batterijferwurkingsapparatuer mei gewoane arbeidsomstannichheden, fanwege priisferhâldingen, wurde silisiumkarbid en kwartsboat-stipe tegearre besteande en konkurrearjende kategoryen.
① Ferfangingsferhâlding yn LPCVD en boriumdiffusjonsapparatuer
LPCVD-apparatuer wurdt brûkt foar oksidaasje fan tunneling fan batterijsellen en tariedingsproses fan gedoteerde polysilisiumlaach. Wurkprinsipe:
Under lege druk sfear, kombinearre mei passende temperatuer, gemyske reaksje en deposition film formaasje wurde berikt te meitsjen ultra-tinne tunneling okside laach en polysilicon film. Yn de tunneling oksidaasje en gedoteerde polysilicium laach tarieding proses, de boat stipe hat in hege wurktemperatuer en sil in silisium film wurde dellein op it oerflak. De termyske útwreidingskoëffisjint fan kwarts is hiel oars as dy fan silisium. Wannear't brûkt wurdt yn it boppesteande proses, is it needsaaklik om it silisium dat op it oerflak dellein is, regelmjittich te pickelen en te ferwiderjen om te foarkommen dat de kwartsboat-stipe brekke troch termyske útwreiding en krimp troch de ferskillende termyske útwreidingskoëffisjint fan silisium. Troch faak beitsen en lege hege temperatuersterkte hat de kwartsboathâlder in koart libben en wurdt faak ferfongen yn it proses fan tunneloksidaasje en gedoteerde polysilisiumlaach tarieding, wat de produksjekosten fan 'e batterijsel signifikant fergruttet. De útwreidingskoëffisjint fansilisiumkarbidis ticht by dy fan silisium. De yntegrearresilisiumkarbidboatholder net nedich pickling yn 'e tunnel oksidaasje en doped polysilicon laach tarieding proses. It hat hege hege temperatuer sterkte en lange libbensdoer. It is in goed alternatyf foar de kwartsboathâlder.
Boron-útwreidingsapparatuer wurdt benammen brûkt foar it proses fan doping fan borium-eleminten op it N-type silisiumwafer-substraat fan 'e batterijsel om de P-type emitter te meitsjen om in PN-knooppunt te foarmjen. It wurkprinsipe is om gemyske reaksje en molekulêre deposysjefilmfoarming te realisearjen yn in sfear mei hege temperatueren. Nei't de film is foarme, kin it ferspraat wurde troch ferwaarming op hege temperatuer om de dopingfunksje fan it silisiumwafer-oerflak te realisearjen. Troch de hege wurktemperatuer fan 'e boron-útwreidingsapparatuer hat de kwartsboathâlder lege hege temperatuersterkte en in koarte libbensdoer yn' e borium-útwreidingsapparatuer. De yntegrearresilisiumkarbidboatholder hat hege hege-temperatuer sterkte en is in goed alternatyf foar de kwarts boat holder yn de borium útwreiding proses.
② Ferfanging relaasje yn oare proses apparatuer
SiC boat stipet hawwe strakke produksje kapasiteit en poerbêste prestaasjes. Harren prizen binne oer it generaal heger dan dy fan kwartsboat-stipes. Yn 'e algemiene arbeidsbetingsten fan selferwurkingsapparatuer is it ferskil yn tsjinstferliening tusken SiC-boat-stipe en kwartsboat-stipe lyts. Downstream-klanten fergelykje en kieze foaral tusken priis en prestaasjes basearre op har eigen prosessen en behoeften. SiC boat stipet en kwarts boat stipet hawwe wurden coexistant en kompetitive. Lykwols, de bruto winst marzje fan SiC boat stipet is relatyf heech op it stuit. Mei de delgong yn 'e produksjekosten fan SiC boat stipet, as de ferkeappriis fan SiC boat stipet aktyf ôfnimt, sil it ek in grutter konkurrinsjefermogen foar kwartsboat stipet.
Usage ratio
De rûte fan seltechnology is benammen PERC-technology en TOPCon-technology. It merkoandiel fan PERC-technology is 88%, en it merkdiel fan TOPCon-technology is 8,3%. It kombinearre merkoandiel fan 'e twa is 96,30%.
Lykas werjûn yn de figuer hjirûnder:
Yn PERC technology binne boat stipet nedich foar de foarside fosfor diffusion en annealing prosessen. Yn TOPCon technology, boat stipet nedich foar de front boron diffusion, LPCVD, werom fosfor diffusion en annealing prosessen. Op it stuit wurde silisiumkarbidboat-stipes benammen brûkt yn it LPCVD-proses fan TOPCon-technology, en har tapassing yn it boriumdiffusjonsproses is benammen ferifiearre.
Figure Tapassing fan boat stipet yn de sel ferwurkjen proses
Opmerking: Nei de foar- en efterkant fan PERC- en TOPCon-technologyen binne d'r noch keppels lykas skermprintsjen, sintering en testen en sortearjen, dy't it gebrûk fan boatstipe net befetsje en net yn 'e boppesteande figuer steane.
Post tiid: Oct-15-2024