In single crystal oven is in apparaat dat brûkt ingrafyt heaterom polykristallijne silisiummaterialen te smelten yn in inerte gas (argon) omjouwing en brûkt de Czochralski-metoade om net-dislocated single kristallen te groeien. It is benammen gearstald út de folgjende systemen:
Mechanysk oerdracht systeem
It meganyske oerdrachtsysteem is it basisbestjoeringssysteem fan 'e ienkristalofen, dy't benammen ferantwurdlik is foar it kontrolearjen fan de beweging fan kristallen enkroezen, ynklusyf it opheffen en rotearjen fan siedkristallen en it opheffen en rotearjen fankroezen. It kin parameters krekt oanpasse lykas de posysje, snelheid en rotaasjewinkel fan kristallen en kroezen om de glêde fuortgong fan it proses fan kristalgroei te garandearjen. Bygelyks, yn ferskate stadia fan kristalgroei lykas sieden, nekken, skouderjen, groei fan gelikense diameter en tailing, moat de beweging fan siedkristallen en kroezen sekuer wurde regele troch dit systeem om te foldwaan oan de proseseasken fan kristalgroei.
Heating temperatuer kontrôle systeem
Dit is ien fan 'e kearnsystemen fan' e ienkristalofen, dy't wurdt brûkt om waarmte te generearjen en de temperatuer yn 'e oven krekt te kontrolearjen. It is benammen gearstald út komponinten lykas kachels, temperatuersensors en temperatuerkontrôles. De kachel wurdt normaal makke fan materialen lykas grafyt mei hege suverens. Nei't de wikselstroom is omfoarme en fermindere om de stroom te fergrutsjen, genereart de kachel waarmte om polykristalline materialen lykas polysilicium yn 'e kroes te smelten. De temperatuersensor kontrolearret de temperatuerwizigingen yn 'e oven yn realtime en stjoert it temperatuersinjaal nei de temperatuerkontrôler. De temperatuerkontrôler kontrolearret de ferwaarmingskrêft krekt neffens de ynstelde temperatuerparameters en it feedbacktemperatuersinjaal, wêrtroch de stabiliteit fan 'e temperatuer yn' e oven behâldt en in gaadlike temperatueromjouwing foar kristalgroei leveret.
Vacuum systeem
De wichtichste funksje fan it fakuümsysteem is it meitsjen en ûnderhâlden fan in fakuümomjouwing yn 'e oven tidens it proses fan kristalgroei. De loft- en ûnreinheidsgassen yn 'e oven wurde wûn troch fakuümpompen en oare apparatuer om de gasdruk yn' e oven in ekstreem leech nivo te berikken, algemien ûnder 5TOR (torr). Dit kin foarkomme dat it silisiummateriaal by hege temperatueren oksidearre wurdt en de suverens en kwaliteit fan kristalgroei garandearje. Tagelyk is de fakuümomjouwing ek befoarderlik foar it fuortheljen fan flechtige ûnreinheden dy't ûntstien binne tidens it kristalgroeiproses en it ferbetterjen fan de kwaliteit fan it kristal.
Argon systeem
It argonsysteem spilet in rol by it beskermjen en regeljen fan de druk yn 'e oven yn' e ienkristalofen. Nei it fakuümjen wurdt argongas mei hege suverens (suverens moat boppe 6 9 wêze) yn 'e oven foltôge. Oan 'e iene kant kin it foarkomme dat bûtenlucht yn' e oven komt en silisiummaterialen foarkomme dat se oksideare wurde; oan 'e oare kant kin it filling fan argongas de druk yn' e oven stabyl hâlde en in gaadlike drukomjouwing leverje foar kristalgroei. Derneist kin de stream fan argongas ek de waarmte fuorthelje dy't ûntstiet yn it proses fan kristalgroei, en spielet in bepaalde koelende rol.
Wetter cooling systeem
De funksje fan it wetterkoelingssysteem is om de ferskate hege temperatuerkomponinten fan 'e ienkristalofen te koelen om de normale wurking en it libben fan' e apparatuer te garandearjen. Tidens de wurking fan 'e ienkristalofen, de kachel,kroes, elektrodes en oare komponinten sille generearje in soad waarmte. As se net op 'e tiid wurde kuolle, sil de apparatuer oververhit, ferfoarme of sels beskeadige wurde. It wetterkoelsysteem nimt de waarmte fan dizze komponinten fuort troch koelwetter te sirkulearjen om de temperatuer fan 'e apparatuer binnen in feilich berik te hâlden. Tagelyk kin it wetterkoelsysteem ek helpe by it oanpassen fan de temperatuer yn 'e oven om de krektens fan temperatuerkontrôle te ferbetterjen.
Elektryske kontrôle systeem
It elektryske kontrôlesysteem is it "harsens" fan 'e ienkristalofen, ferantwurdlik foar it kontrolearjen en kontrolearjen fan de wurking fan' e hiele apparatuer. It kin sinjalen ûntfange fan ferskate sensoren, lykas temperatuersensors, druksensors, posysjesensors, ensfh., En koördinearje en kontrolearje it meganyske oerdrachtsysteem, ferwaarmingstemperatuerkontrôlesysteem, fakuümsysteem, argonsysteem en wetterkoelsysteem basearre op dizze sinjalen. Bygelyks, tidens it proses fan kristalgroei kin it elektryske kontrôlesysteem de ferwaarmingskrêft automatysk oanpasse neffens it temperatuersinjaal weromfierd troch de temperatuersensor; neffens de groei fan it kristal kin it de bewegingssnelheid en rotaasjewinkel fan it siedkristal en kroes kontrolearje. Tagelyk hat it elektryske kontrôlesysteem ek flaterdiagnoaze en alarmfunksjes, dy't abnormale omstannichheden fan 'e apparatuer yn' e tiid kinne ûntdekke en de feilige wurking fan 'e apparatuer garandearje.
Post tiid: Sep-23-2024