Wat is sic coating?

Silisiumkarbidis in hurde ferbining mei silisium en koalstof, en wurdt fûn yn 'e natuer as it ekstreem seldsume mineraal moissanite. Silisiumkarbiddieltsjes kinne mei-inoar ferbûn wurde troch sintering om heul hurde keramyk te foarmjen, dy't in protte brûkt wurde yn tapassingen dy't hege duorsumens fereaskje, fral yn semiconductor procession.

Fysike struktuer fan SiC

SiC coating is in dichte, wear-resistant silisium carbid coating mei hege corrosie en waarmte ferset en poerbêst termyske conductivity. Dizze hege-suvere SiC-coating wurdt primêr brûkt yn 'e semiconductor- en elektroanika-yndustry om waferdragers, bases en ferwaarmingseleminten te beskermjen tsjin korrosive en reaktive omjouwings. SiC coating is ek geskikt foar fakuüm ovens en sample ferwaarming yn hege fakuüm, reaktive en soerstof omjouwings.

Hege suverens SiC coating oerflak

Wat is it SiC-coatingproses?

In tinne laach silisiumkarbid wurdt ôfset op it oerflak fan it substraat mei helpCVD (Chemical Vapor Deposition). Deposysje wurdt normaal útfierd by temperatueren fan 1200-1300 ° C en it thermyske útwreidingsgedrach fan it substraatmateriaal moat kompatibel wêze mei de SiC-coating om thermyske stress te minimalisearjen.

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

CVD SIC Coating FILM CRYSTAL STRUCTURE

De fysike eigenskippen fan SiC coating wurde benammen wjerspegele yn syn hege temperatuer ferset, hurdens, corrosie ferset en termyske conductivity.

Typyske fysike parameters binne meastentiids as folget:

Hurdens: SiC coating typysk hawwe in Vickers hurdens yn it berik fan 2000-2500 HV, dat jout se ekstreem hege wear en impact ferset yn yndustriële applikaasjes.

Tichtheid: SiC-coatings hawwe typysk in tichtheid fan 3,1-3,2 g/cm³. De hege tichtheid draacht by oan de meganyske sterkte en duorsumens fan 'e coating.

Thermyske conductivity: SiC coatings hawwe in hege termyske conductivity, typysk yn it berik fan 120-200 W / mK (by 20 ° C). Dit jout it goede termyske conductivity yn hege temperatuer omjouwings en makket it benammen geskikt foar waarmte behanneling apparatuer yn de semiconductor yndustry.

Smeltpunt: silisiumkarbid hat in smeltpunt fan likernôch 2730 °C en hat poerbêste thermyske stabiliteit by ekstreme temperatueren.

Koëffisjint fan termyske útwreiding: SiC-coatings hawwe in lege lineêre koëffisjint fan thermyske útwreiding (CTE), typysk yn it berik fan 4.0-4.5 µm / mK (yn 'e 25-1000 ℃). Dit betsjut dat syn dimensionale stabiliteit poerbêst is oer grutte temperatuerferskillen.

Corrosie ferset: SiC-coatings binne ekstreem resistint foar corrosie yn sterke soere, alkali en oksidearjende omjouwings, benammen by it brûken fan sterke soeren (lykas HF of HCl), harren corrosie ferset fier boppe dy fan konvinsjonele metalen materialen.

SiC-coatings kinne wurde tapast op de folgjende materialen:

Hege suverens isostatysk grafyt (leech CTE)
Wolfram
Molybdenum
Silisiumkarbid
Silisium nitride
Carbon-Carbon Composites (CFC)

SiC-coated produkten wurde faak brûkt yn 'e folgjende gebieten:

LED chip produksje
Produksje fan polysilicium
Semiconductorkristal groei
Silisium enSiC epitaksy
Wafer waarmte behanneling en etsen

Wêrom kieze VET Energy?

VET Energy is in liedende fabrikant, fernijer en lieder fan SiC coating produkten yn Sina, de wichtichste SiC coating produkten omfetsjewaferdrager mei SiC-coating, SiC coatedepitaksiale susceptor, SiC-coated grafytring, Halve moanne dielen mei SiC coating, SiC coated koalstof-koalstof komposit, SiC coated wafer boat, SiC coated heater, ensfh VET Energy set him yn foar in foarsjen de semiconductor yndustry mei de ultime technology en produkt oplossings, en stipet maatwurk tsjinsten. Wy oprjocht sjogge út nei in wêzen jo lange-termyn partner yn Sina.