صفحه و روکش سینی گرافیتی با پوشش سیلیکون کاربید

توضیحات کوتاه:

صفحه و روکش گرافیتی روکش کاربید سیلیکون VET Energy محصولی با کارایی بالا است که برای ارائه عملکرد ثابت و قابل اعتماد در مدت زمان طولانی طراحی شده است. دارای مقاومت حرارتی و یکنواختی حرارتی فوق العاده خوب، خلوص بالا، مقاومت در برابر فرسایش است که آن را به راه حل عالی برای کاربردهای پردازش ویفر تبدیل می کند.


جزئیات محصول

برچسب های محصول

انرژی VETسینی گرافیتی با پوشش سیلیکون کاربید, Plate, and Cover به گونه ای مهندسی شده است که عملکرد بالاتری را ارائه می دهد، عملکرد قابل اعتماد و ثابتی را در استفاده طولانی ارائه می دهد و آن را به یک انتخاب ضروری برای کاربردهای پردازش ویفر در صنعت نیمه هادی تبدیل می کند. این کارایی بالاصفحه گرافیتی با پوشش سیلیکون کاربیددارای مقاومت فوق العاده در برابر حرارت، یکنواختی حرارتی عالی و پایداری شیمیایی فوق العاده، به ویژه در شرایط دمای بالا. ساختار با خلوص بالا، همراه با مقاومت در برابر فرسایش پیشرفته، آن را برای محیط‌های پر تقاضا مانندگیرنده های MOCVD.

7

ویژگی های کلیدی سینی، صفحه و روکش گرافیتی پوشش سیلیکون کاربید

1. مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا:تا دمای 1700 درجه سانتیگراد را تحمل می کند و به آن امکان می دهد در شرایط شدید عملکرد قابل اعتمادی داشته باشد.

2. خلوص بالا و یکنواختی حرارتی:خلوص بالا و توزیع یکنواخت گرما برای کاربردهای MOCVD بسیار مهم است.

3. مقاومت در برابر خوردگی استثنایی:مقاوم در برابر اسیدها، قلیایی ها، نمک ها و معرف های آلی مختلف، تضمین پایداری طولانی مدت در محیط های مختلف.

4. سختی بالا و سطح فشرده:دارای یک سطح متراکم با ذرات ریز است که دوام کلی و مقاومت در برابر سایش را بهبود می بخشد.

5. عمر سرویس طولانی تر:طراحی شده برای طول عمر، عملکرد بهتری از معمول داردگیرنده های گرافیت با پوشش کاربید سیلیکوندر محیط های سخت پردازش نیمه هادی.

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

خواص فیزیکی اولیه CVD SiCپوشش

性质 / اموال

典型数值 / ارزش معمولی

晶体结构 / ساختار کریستالی

فاز β FCC多晶,主要为(111 )取向

密度 / تراکم

3.21 گرم بر سانتی متر مکعب

硬度 / سختی

2500 维氏硬度 (500 گرم بار)

晶粒大小 / Grain SiZe

2 تا 10 میکرومتر

纯度 / خلوص شیمیایی

99.99995%

热容 / ظرفیت حرارتی

640 ژون کیلوگرم-1· K-1

升华温度 / دمای تصعید

2700 ℃

抗弯强度 / قدرت خمشی

415 مگاپاسکال RT 4 نقطه

杨氏模量 / مدول یانگ

430 Gpa خم 4pt، 1300 ℃

导热系数 / ترمالرسانایی

300W·m-1· K-1

热膨胀系数 / انبساط حرارتی (CTE)

4.5×10-6K-1

تخصص VET Energy در راه حل های گرافیت و کاربید سیلیکون سفارشی

به عنوان یک تولید کننده قابل اعتماد، VET Energy در طراحی سفارشی گیرنده های گرافیت و محلول های پوشش کاربید سیلیکون تخصص دارد. ما طیف وسیعی از محصولات را برای صنایع نیمه هادی و فتوولتائیک از جمله ارائه می دهیماجزای گرافیت با پوشش SiCمانند سینی ها، بشقاب ها و روکش ها. مجموعه محصولات ما همچنین شامل گزینه های پوشش متنوعی است، مانندپوشش SiC برای MOCVD, پوشش TaC, پوشش کربن شیشه ایو پوشش کربن پیرولیتیک، تضمین می کند که ما نیازهای مختلف صنایع با فناوری پیشرفته را برآورده می کنیم.

تیم فنی مجرب ما، متشکل از کارشناسانی از موسسات تحقیقاتی برتر داخلی، راه حل های جامع مواد را برای مشتریان ارائه می دهد. ما به طور مداوم فرآیندهای پیشرفته خود را اصلاح می کنیم، از جمله یک فناوری انحصاری ثبت اختراع که اتصال بین پوشش سیلیکون کاربید و بستر گرافیت را افزایش می دهد و خطر جدا شدن را کاهش می دهد و عمر محصول را بیشتر می کند.

کاربردها و مزایا در ساخت نیمه هادی ها

اینپوشش سیلیکون کاربید برای MOCVDاین گیرنده های گرافیت را در محیط های با دمای بالا و خورنده بسیار موثر می کند. چه به عنوان حامل ویفر گرافیتی یا سایر اجزای MOCVD استفاده شود، این گیرنده های پوشش داده شده با کاربید سیلیکون دوام و عملکرد عالی را نشان می دهند. برای کسانی که به دنبال راه حل های قابل اعتماد درگیرنده گرافیت با پوشش SiCسینی، صفحه و روکش گرافیتی با پوشش کاربید سیلیکونی VET Energy در بازار، گزینه ای قوی و همه کاره را ارائه می دهد که نیازهای سخت صنعت نیمه هادی ها را برآورده می کند.

با تمرکز بر علم مواد پیشرفته، VET Energy متعهد به ارائه راه‌حل‌های گرافیتی با پوشش SiC با کارایی بالا است که نوآوری در پردازش نیمه‌رسانا را به همراه دارد و عملکرد قابل اعتماد را در همه برنامه‌های مرتبط با MOCVD تضمین می‌کند.

1

2

VET Energy تولید کننده واقعی محصولات سفارشی گرافیت و کاربید سیلیکون با پوشش های مختلف مانند پوشش SiC، پوشش TaC، پوشش کربن شیشه ای، پوشش کربن پیرولیتیک و غیره است، می تواند قطعات سفارشی مختلف را برای صنایع نیمه هادی و فتوولتائیک تامین کند.

تیم فنی ما از موسسات تحقیقاتی برتر داخلی آمده است، می تواند راه حل های مواد حرفه ای تری را برای شما ارائه دهد.

ما به طور مداوم فرآیندهای پیشرفته‌تری را برای تهیه مواد پیشرفته‌تر توسعه می‌دهیم و یک فناوری انحصاری ثبت شده را ایجاد کرده‌ایم که می‌تواند اتصال بین پوشش و بستر را محکم‌تر و کمتر مستعد جدا شدن کند.

به گرمی از شما برای بازدید از کارخانه ما استقبال می کنیم، بیایید بحث بیشتری داشته باشیم!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 

 

 


  • قبلی:
  • بعدی:

  • چت آنلاین واتس اپ!