چگونه قایق گرافیتی PECVD را تمیز کنیم؟| انرژی VET

1. قدردانی قبل از تمیز کردن

1) زمانی کهقایق گرافیتی PECVD/ حامل بیش از 100 تا 150 بار استفاده می شود، اپراتور باید وضعیت پوشش را به موقع بررسی کند. اگر پوشش غیر طبیعی وجود داشته باشد، باید تمیز و تایید شود. رنگ روکش معمولی ویفر سیلیکونی در قایق/ حامل گرافیت آبی است. اگر ویفر دارای رنگ‌های غیرآبی و چندگانه باشد یا تفاوت رنگ بین ویفرها زیاد باشد، پوشش غیرعادی است و باید علت ناهنجاری به موقع تأیید شود.
2) پس از پرسنل فرآیند، وضعیت پوشش را تجزیه و تحلیل می کندقایق گرافیتی PECVD/carrier، آنها تعیین می کنند که آیا قایق گرافیتی نیاز به تمیز کردن دارد یا خیر و آیا نقطه کارت نیاز به تعویض دارد یا خیر و قایق / حامل گرافیتی که باید تمیز شود برای تمیز کردن به پرسنل تجهیزات تحویل داده می شود.

 

3) پس ازقایق گرافیتی/ حامل آسیب دیده است، پرسنل تولید تمام ویفرهای سیلیکونی را در قایق گرافیتی خارج می کنند و از CDA (هوای فشرده) برای مرتب کردن قطعات در قایق استفاده می کنند.قایق گرافیتی. پس از تکمیل، پرسنل تجهیزات آن را به مخزن اسیدی که با نسبت مشخصی از محلول HF برای تمیز کردن آماده شده است، بالا می برند.

 

2. تمیز کردن قایق گرافیتی

توصیه می شود از محلول 15-25٪ اسید هیدروفلوئوریک برای سه دور تمیز کردن، هر یک به مدت 4-5 ساعت استفاده کنید، و به طور دوره ای نیتروژن حباب در طول فرآیند خیساندن و تمیز کردن، اضافه کردن حدود نیم ساعت تمیز کردن. توجه: استفاده مستقیم از هوا به عنوان منبع گاز برای حباب زدن توصیه نمی شود. پس از ترشی، حدود 10 ساعت با آب خالص بشویید و اطمینان حاصل کنید که قایق کاملاً تمیز شده است. پس از تمیز کردن، لطفاً سطح قایق، نقطه کارت گرافیت و محل اتصال ورق قایق و سایر قسمت ها را بررسی کنید تا ببینید آیا باقی مانده نیترید سیلیکون وجود دارد یا خیر. سپس با توجه به نیاز خشک کنید.

3. اقدامات احتیاطی تمیز کردن

الف) از آنجایی که اسید HF یک ماده بسیار خورنده است و فراریت خاصی دارد، برای اپراتورها خطرناک است. بنابراین، اپراتورها در پست نظافت باید اقدامات احتیاطی ایمنی را انجام دهند و توسط یک فرد اختصاصی مدیریت شوند.

ب) توصیه می شود قایق را از هم جدا کنید و فقط قسمت گرافیتی را در حین نظافت تمیز کنید تا هر قسمت تماس با دقت بیشتری تمیز شود. در حال حاضر، بسیاری از تولید کنندگان داخلی از تمیز کردن کلی استفاده می کنند که راحت است، اما از آنجایی که اسید HF برای قطعات سرامیکی خورنده است، تمیز کردن کلی باعث کاهش طول عمر قطعات مربوطه می شود.