SiC پوشش گرافیت MOCVD گیرنده حامل ویفر

پوشش SiC گرافیت MOCVD حامل های ویفر گیرنده ها تصویر ویژه

توضیحات کوتاه:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth محصولی با کارایی بالا است که برای ارائه عملکرد ثابت و قابل اعتماد در مدت زمان طولانی طراحی شده است. دارای مقاومت حرارتی و یکنواختی حرارتی فوق العاده خوب، خلوص بالا، مقاومت در برابر فرسایش است که آن را به راه حل عالی برای کاربردهای پردازش ویفر تبدیل می کند.

برای ما ایمیل بفرستید دانلود به صورت PDF

جزئیات محصول

برچسب های محصول

پوشش سی سی گرافیت MOCVD حامل/گیرنده ویفر

همه گیره های ما از گرافیت ایزواستاتیک با مقاومت بالا ساخته شده اند. از خلوص بالای گرافیت‌های ما بهره ببرید – به‌ویژه برای فرآیندهای چالش برانگیز مانند اپیتاکسی، رشد کریستال، کاشت یون و اچ پلاسما، و همچنین برای تولید تراشه‌های LED.

ویژگی های محصولات ما:

1. مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا تا 1700 ℃.
2. خلوص بالا و یکنواختی حرارتی
3. مقاومت در برابر خوردگی عالی: اسید، قلیایی، نمک و معرف های آلی.
4. سختی بالا، سطح فشرده، ذرات ریز.
5. عمر طولانی تر و بادوام تر

CVD SiC薄膜基本物理性能 خواص فیزیکی اولیه CVD SiCپوشش
性质 / اموال	典型数值 / ارزش معمولی
晶体结构 / ساختار کریستالی	فاز β FCC多晶，主要为（111 ）取向
密度 / تراکم	3.21 گرم بر سانتی متر مکعب
硬度 / سختی	2500 维氏硬度 (500 گرم بار)
晶粒大小 / Grain SiZe	2 تا 10 میکرومتر
纯度 / خلوص شیمیایی	99.99995%
热容 / ظرفیت حرارتی	640 ژون کیلوگرم^-1· K^-1
升华温度 / دمای تصعید	2700 ℃
抗弯强度 / قدرت خمشی	415 مگاپاسکال RT 4 نقطه
杨氏模量 / مدول یانگ	430 Gpa خم 4pt، 1300 ℃
导热系数 / ترمالرسانایی	300W·m^-1· K^-1
热膨胀系数 / انبساط حرارتی (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy تولید کننده واقعی محصولات سفارشی گرافیت و کاربید سیلیکون با پوشش های مختلف مانند پوشش SiC، پوشش TaC، پوشش کربن شیشه ای، پوشش کربن پیرولیتیک و غیره است، می تواند قطعات سفارشی مختلف را برای صنایع نیمه هادی و فتوولتائیک تامین کند.

تیم فنی ما از موسسات تحقیقاتی برتر داخلی آمده است، می تواند راه حل های مواد حرفه ای تری را برای شما ارائه دهد.

ما به طور مداوم فرآیندهای پیشرفته‌تری را برای تهیه مواد پیشرفته‌تر توسعه می‌دهیم و یک فناوری انحصاری ثبت شده را ایجاد کرده‌ایم که می‌تواند اتصال بین پوشش و بستر را محکم‌تر و کمتر مستعد جدا شدن کند.

به گرمی از شما برای بازدید از کارخانه ما استقبال می کنیم، بیایید بحث بیشتری داشته باشیم!