vet-china tagab, et iga VastupidavRänikarbiidist vahvlite käsitsemisõlgon suurepärase jõudluse ja vastupidavusega. See ränikarbiidist vahvli käsitsemislaba kasutab täiustatud tootmisprotsesse, et tagada selle struktuurne stabiilsus ja funktsionaalsus kõrgel temperatuuril ja keemilise korrosiooniga keskkonnas. See uuenduslik disain pakub suurepärast tuge pooljuhtplaatide käsitsemiseks, eriti ülitäpse automatiseeritud toimingute jaoks.
SiC konsooliga mõlaon spetsiaalne komponent, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisseadmetes, nagu oksüdatsiooniahi, difusiooniahi ja lõõmutusahi, peamine kasutusala on vahvlite laadimiseks ja mahalaadimiseks, toetab ja transpordib vahvleid kõrgel temperatuuril.
Ühised struktuuridkohtaSiCcantileverplisand: konsoolkonstruktsioon, mis on ühest otsast fikseeritud ja teisest otsast vaba, on tavaliselt lameda ja mõlataolise kujundusega.
TöötabppõhimõtekohtaSiCcantileverplisand:
Konsoollaba saab ahjukambris üles-alla või edasi-tagasi liikuda, seda saab kasutada vahvlite teisaldamiseks laadimisaladelt töötlemisaladele või töötlemisaladest välja, toetades ja stabiliseerides vahvleid kõrgel temperatuuril töötlemisel.
| Ümberkristalliseeritud ränikarbiidi füüsikalised omadused | |
| Kinnisvara | Tüüpiline väärtus |
| Töötemperatuur (°C) | 1600°C (hapnikuga), 1700°C (redutseeriv keskkond) |
| SiC sisu | > 99,96% |
| Tasuta Si sisu | < 0,1% |
| Puistetihedus | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Ilmne poorsus | < 16% |
| Survetugevus | > 600 MPa |
| Külm paindetugevus | 80–90 MPa (20 °C) |
| Kuum paindetugevus | 90–100 MPa (1400 °C) |
| Soojuspaisumine @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Soojusjuhtivus @1200°C | 23 W/m•K |
| Elastsusmoodul | 240 GPa |
| Soojuslöögikindlus | Ülimalt hea |
