1. Kinnitus enne puhastamist
1) KuiPECVD grafiitpaat/kandjat kasutatakse rohkem kui 100–150 korda, operaator peab katte seisukorda õigeaegselt kontrollima. Kui kattekiht on ebatavaline, tuleb see puhastada ja kinnitada. Grafiitpaadi/kanduri ränivahvli tavaline kattevärv on sinine. Kui vahvlil on mittesinine, mitut värvi või vahvlite värvierinevus on suur, on tegemist ebanormaalse kattega ja kõrvalekalde põhjus tuleb õigeaegselt kindlaks teha.
2) Pärast protsessi analüüsivad töötajad katte seisukordaPECVD grafiitpaat/vedaja, nemad teevad kindlaks, kas grafiitpaat vajab puhastamist ja kaardipunkti vahetust ning puhastamist vajav grafiitpaat/kandja antakse üle varustuspersonalile puhastamiseks.
3) Pärastgrafiidist paat/kandja on kahjustatud, võtab tootmispersonal välja kõik grafiitpaadis olevad räniplaadid ja kasutab CDA-d (suruõhku) kildude sorteerimiseks.grafiidist paat. Pärast valmimist tõstavad seadmete töötajad selle happepaaki, mis on puhastamiseks ette valmistatud teatud koguse HF lahusega.
2. Grafiitpaadi puhastus
Soovitatav on kasutada 15-25% vesinikfluoriidhappe lahust kolmeks puhastusringiks, igaüks 4-5 tundi, ja perioodiliselt mullitades lämmastikku leotamise ja puhastamise käigus, lisades umbes pooletunnise puhastuse; Märkus: mullitamise gaasiallikana ei ole soovitatav kasutada otse õhku. Pärast marineerimist loputage umbes 10 tundi puhta veega ja veenduge, et paat on põhjalikult puhastatud. Pärast puhastamist kontrollige paadi pinda, grafiitkaardi punkti ja paadilehe ühenduskohta ja muid osi, et näha, kas seal on räninitriidi jääke. Seejärel kuivatage vastavalt nõuetele.
3. Puhastamise ettevaatusabinõud
A) Kuna HF-hape on väga söövitav ja teatud lenduvusega aine, on see kasutajatele ohtlik. Seetõttu peavad puhastuspunkti operaatorid rakendama ettevaatusabinõusid ja neid juhib spetsiaalne isik.
B) Soovitatav on paat lahti võtta ja puhastamise ajal puhastada ainult grafiitosa, et iga kontaktosa saaks põhjalikumalt puhastatud. Praegu kasutavad paljud kodumaised tootjad üldist puhastust, mis on mugav, kuid kuna HF-hape on keraamilistele osadele söövitav, lühendab üldine puhastamine vastavate osade kasutusiga.
Postitusaeg: 23. detsember 2024