ränikarbiidist keraamilise kattega kütteseade

Veterinaar-HiinaRänikarbiidi keraamikaCoating on suure jõudlusega kaitsekate, mis on valmistatud eriti kõvast ja kulumiskindlast materjalistränikarbiid (SiC)materjal, mis tagab suurepärase keemilise korrosioonikindluse ja stabiilsuse kõrgel temperatuuril. Need omadused on pooljuhtide tootmisel üliolulisedRänikarbiidi keraamiline katekasutatakse laialdaselt pooljuhtide tootmisseadmete põhikomponentides.

Vet-Hiina spetsiifiline rollRänikarbiidi keraamikaPooljuhtide tootmisel katmine on järgmine:

Suurendage seadmete vastupidavust:Ränikarbiidi keraamiline kate Silicon Carbide keraamiline kate pakub oma ülikõrge kõvaduse ja kulumiskindlusega suurepärase pinnakaitse pooljuhtide tootmisseadmetele. Eriti kõrge temperatuuriga ja väga korrodeerivates protsessikeskkondades, nagu keemiline aurustamine-sadestamine (CVD) ja plasmasöövitus, võib kate tõhusalt ära hoida seadme pinna kahjustamist keemilise erosiooni või füüsilise kulumise tõttu, pikendades seeläbi oluliselt seadme kasutusiga. seadmed ning sagedasest vahetamisest ja remondist põhjustatud seisakuajad.

Protsessi puhtuse parandamine:Pooljuhtide tootmisprotsessis võib väike saaste põhjustada toote defekte. Silicon Carbide Ceramic Coatingi keemiline inertsus võimaldab sellel püsida stabiilsena ekstreemsetes tingimustes, takistades materjalist osakeste või lisandite eraldumist, tagades seeläbi protsessi keskkonnapuhtuse. See on eriti oluline tootmisetappide puhul, mis nõuavad suurt täpsust ja kõrget puhtust, nagu PECVD ja ioonide implanteerimine.

Optimeerige soojusjuhtimist:Kõrge temperatuuriga pooljuhtide töötlemisel, nagu kiirtermiline töötlemine (RTP) ja oksüdatsiooniprotsessid, võimaldab ränikarbiidi keraamilise katte kõrge soojusjuhtivus seadmetes ühtlaselt temperatuuri jaotada. See aitab vähendada temperatuurikõikumistest tingitud termilist pinget ja materjali deformatsiooni, parandades seeläbi toote valmistamise täpsust ja konsistentsi.

Toetage keerulisi protsessikeskkondi:Keerulist atmosfäärikontrolli nõudvates protsessides, nagu ICP-söövitus ja PSS-söövitusprotsessid, tagab ränikarbiidi keraamilise katte stabiilsus ja oksüdatsioonikindlus, et seadmed säilitavad stabiilse jõudluse pikaajalises töös, vähendades materjali lagunemise või seadme kahjustamise ohtu. keskkonnamuutustele.