Täiustatud SiC konsoolilaba vahvlite töötlemiseks

Lühikirjeldus:

Veterinaar-Hiina poolt turule toodud täiustatud SiC konsoolilabas vahvlite töötlemiseks kasutab kõrgtehnoloogilisi SiC materjale, et parandada vahvlite töötlemise tõhusust ja täpsust. Vet-China konsoollabadel on suurepärane kuuma- ja korrosioonikindlus, mis tagab stabiilse vahvlite käsitsemise karmides tootmiskeskkondades, muutes selle ideaalseks valikuks toodangu suurendamiseks.

Saada meile e-kiri Laadige alla PDF-ina

Toote üksikasjad

Tootesildid

TäiustatudSiC konsooliga mõlafor Wafer Processing, mille on loonud vet-china, pakub suurepärast lahendust pooljuhtide tootmiseks. See konsooli mõla on valmistatud SiC (ränikarbiid) materjalist ning selle kõrge kõvadus ja kuumakindlus võimaldavad säilitada suurepärast jõudlust kõrgel temperatuuril ja söövitavas keskkonnas. Cantilever Paddle'i disain võimaldab vahvlit töötlemise ajal usaldusväärselt toetada, vähendades killustumise ja kahjustuste ohtu.

SiC konsooliga mõlaon spetsiaalne komponent, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisseadmetes, nagu oksüdatsiooniahi, difusiooniahi ja lõõmutusahi, peamine kasutusala on vahvlite laadimiseks ja mahalaadimiseks, toetab ja transpordib vahvleid kõrgel temperatuuril.

Ühised struktuuridkohtaSiCcantileverplisand: konsoolkonstruktsioon, mis on ühest otsast fikseeritud ja teisest otsast vaba, on tavaliselt lameda ja mõlataolise kujundusega.

VET Energy kasutab kvaliteedi tagamiseks kõrge puhtusastmega ümberkristalliseeritud ränikarbiidmaterjale.

Ümberkristalliseeritud ränikarbiidi füüsikalised omadused
Kinnisvara	Tüüpiline väärtus
Töötemperatuur (°C)	1600°C (hapnikuga), 1700°C (redutseeriv keskkond)
SiC sisu	> 99,96%
Tasuta Si sisu	< 0,1%
Puistetihedus	2,60-2,70 g/cm³
Ilmne poorsus	< 16%
Survetugevus	> 600MPa
Külm paindetugevus	80–90 MPa (20 °C)
Kuum paindetugevus	90–100 MPa (1400 °C)
Soojuspaisumine @1500°C	4.70 10^-6/°C
Soojusjuhtivus @1200°C	23W/m•K
Elastsusmoodul	240 GPa
Soojuslöögikindlus	Ülimalt hea