Placa y cubierta de bandeja de grafito con revestimiento de carburo de silicio

Breve descripción:

La placa y cubierta de grafito con revestimiento de carburo de silicio de VET Energy es un producto de alto rendimiento diseñado para proporcionar un rendimiento constante y confiable durante un período prolongado. Tiene muy buena resistencia al calor y uniformidad térmica, alta pureza y resistencia a la erosión, lo que la convierte en la solución perfecta para aplicaciones de procesamiento de obleas.

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FP EnergíaBandeja de grafito con revestimiento de carburo de silicio, Plate, and Cover está diseñado para ofrecer un rendimiento de primer nivel, brindando un funcionamiento confiable y consistente durante un uso prolongado, lo que lo convierte en una opción esencial para aplicaciones de procesamiento de obleas en la industria de semiconductores. Este alto rendimientoPlaca de grafito con revestimiento de carburo de silicioCuenta con una resistencia al calor excepcional, una uniformidad térmica superior y una estabilidad química excepcional, particularmente en condiciones de alta temperatura. Su construcción de alta pureza, junto con su avanzada resistencia a la erosión, lo hace indispensable para entornos exigentes comosusceptores MOCVD.

Características clave de la bandeja, placa y cubierta de grafito con revestimiento de carburo de silicio

1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas:Resiste temperaturas de hasta 1700 ℃, lo que le permite funcionar de manera confiable en condiciones extremas.

2. Alta Pureza y Uniformidad Térmica:La alta pureza constante y la distribución uniforme del calor son cruciales para las aplicaciones MOCVD.

3. Resistencia a la corrosión excepcional:Resistente a ácidos, álcalis, sales y diversos reactivos orgánicos, lo que garantiza estabilidad a largo plazo en diversos entornos.

4. Alta dureza y superficie compacta:Presenta una superficie densa con partículas finas, lo que mejora la durabilidad general y la resistencia al desgaste.

5. Vida útil extendida:Diseñado para una mayor longevidad, superando a los convencionalessusceptores de grafito recubiertos de carburo de silicioen entornos hostiles de procesamiento de semiconductores.

ECV SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas de CVD SiCrevestimiento
性质 / Propiedad	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estructura cristalina	Fase β de la FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 libras (carga de 500 g)
晶粒大小 / Tamaño del grano	2~10μm
纯度 / Pureza Química	99,99995%
热容 / Capacidad calorífica	640 J·kg^-1·k^-1
升华温度 / Temperatura de sublimación	2700 ℃
抗弯强度 / Resistencia a la flexión	415 MPa RT de 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / TermayoConductividad	300W·m^-1·k^-1
热膨胀系数 / Expansión Térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

La experiencia de VET Energy en soluciones personalizadas de grafito y carburo de silicio

Como fabricante de confianza, VET Energy se especializa en susceptores de grafito y soluciones de recubrimiento de carburo de silicio diseñados a medida. Ofrecemos una gama de productos diseñados para las industrias de semiconductores y fotovoltaica, incluidosComponentes de grafito recubiertos de SiCcomo bandejas, platos y tapas. Nuestra línea de productos también incluye diversas opciones de recubrimiento, comoRecubrimiento de SiC para MOCVD, revestimiento de TaC, revestimiento de carbono vítreoy recubrimiento de carbón pirolítico, lo que garantiza que cumplimos con las diversas demandas de las industrias de alta tecnología.

Nuestro experimentado equipo técnico, compuesto por expertos de las principales instituciones de investigación nacionales, ofrece soluciones materiales integrales para los clientes. Refinamos continuamente nuestros procesos avanzados, incluida una tecnología patentada exclusiva que mejora la unión entre el recubrimiento de carburo de silicio y el sustrato de grafito, reduciendo el riesgo de desprendimiento y extendiendo aún más la vida útil del producto.

Aplicaciones y beneficios en la fabricación de semiconductores

ElRecubrimiento de carburo de silicio para MOCVDhace que estos susceptores de grafito sean altamente efectivos en ambientes corrosivos y de alta temperatura. Ya sea que se utilicen como portadores de obleas de grafito u otros componentes MOCVD, estos susceptores recubiertos de carburo de silicio demuestran una durabilidad y un rendimiento superiores. Para aquellos que buscan soluciones confiables en elSusceptor de grafito recubierto de SiCEn el mercado, la bandeja, placa y cubierta de grafito recubiertas de carburo de silicio de VET Energy ofrecen una opción robusta y versátil que satisface las rigurosas demandas de la industria de semiconductores.

Al centrarse en la ciencia de materiales avanzada, VET Energy se compromete a ofrecer soluciones de grafito recubierto de SiC de alto rendimiento que impulsen la innovación en el procesamiento de semiconductores y garanticen un rendimiento confiable en todas las aplicaciones relacionadas con MOCVD.

VET Energy es el verdadero fabricante de productos personalizados de grafito y carburo de silicio con diferentes recubrimientos como recubrimiento de SiC, recubrimiento de TaC, recubrimiento de carbón vítreo, recubrimiento de carbón pirolítico, etc., y puede suministrar varias piezas personalizadas para la industria fotovoltaica y de semiconductores.

Nuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

Desarrollamos continuamente procesos avanzados para proporcionar materiales más avanzados y hemos desarrollado una tecnología patentada exclusiva que puede hacer que la unión entre el recubrimiento y el sustrato sea más estrecha y menos propensa a desprenderse.

Le damos una calurosa bienvenida a visitar nuestra fábrica, ¡discutamos más a fondo!