¿Cómo limpiar un barco de grafito PECVD?| FP Energía

1. Reconocimiento antes de la limpieza.

1) Cuando elBarco de grafito PECVD/portador se utiliza más de 100 a 150 veces, el operador debe verificar el estado del recubrimiento a tiempo. Si hay una capa anormal, es necesario limpiarla y confirmarla. El color normal del recubrimiento de la oblea de silicio en el barco/portador de grafito es azul. Si la oblea tiene varios colores que no son azules, o la diferencia de color entre las obleas es grande, se trata de un recubrimiento anormal y la causa de la anomalía debe confirmarse a tiempo.
2) Después de que el personal del proceso analice la condición del recubrimiento delBarco de grafito PECVD/ transportista, determinarán si es necesario limpiar el bote de grafito y si es necesario reemplazar la punta de la tarjeta, y el bote / transportista de grafito que debe limpiarse se entregará al personal del equipo para su limpieza.

 

3) Después delbarco de grafito/portador está dañado, el personal de producción sacará todas las obleas de silicio en el bote de grafito y usará CDA (aire comprimido) para separar los fragmentos en elbarco de grafito. Una vez finalizado, el personal del equipo lo levantará al tanque de ácido que ha sido preparado con una cierta proporción de solución de HF para su limpieza.

 

2. Limpieza de barco de grafito.

Se recomienda utilizar una solución de ácido fluorhídrico al 15-25% durante tres rondas de limpieza, cada una de 4-5 horas, y burbujear nitrógeno periódicamente durante el proceso de remojo y limpieza, agregando aproximadamente media hora de limpieza; nota: no se recomienda utilizar aire directamente como fuente de gas para burbujear. Después del decapado, enjuague con agua pura durante aproximadamente 10 horas y confirme que el barco se haya limpiado a fondo. Después de la limpieza, verifique la superficie de la embarcación, la punta de la tarjeta de grafito y la junta de la lámina de la embarcación, y otras partes para ver si hay residuos de nitruro de silicio. Luego secar según los requisitos.

3. Precauciones de limpieza

A) Dado que el ácido HF es una sustancia altamente corrosiva y tiene cierta volatilidad, es peligroso para los operadores. Por lo tanto, los operadores en el puesto de limpieza deben tomar precauciones de seguridad y ser atendidos por una persona dedicada.

B) Se recomienda desmontar la embarcación y limpiar únicamente la parte de grafito durante la limpieza, para que cada parte de contacto se pueda limpiar más a fondo. En la actualidad, muchos fabricantes nacionales utilizan una limpieza general, lo cual es conveniente, pero debido a que el ácido HF es corrosivo para las piezas cerámicas, la limpieza general acortará la vida útil de las piezas correspondientes.