Sustratos/portadores de grafito con revestimiento de carburo de silicio para semiconductores

Breve descripción:

El susceptor de grafito recubierto de SiC de VET Energy es un producto de alto rendimiento diseñado para proporcionar un rendimiento constante y confiable durante un período prolongado. Tiene muy buena resistencia al calor y uniformidad térmica, alta pureza y resistencia a la erosión, lo que la convierte en la solución perfecta para aplicaciones de procesamiento de obleas.


  • Lugar de origen:Zhejiang, China (continental)
  • Número de modelo:barco3004
  • Composición química:Grafito recubierto de SiC
  • Resistencia a la flexión:470Mpa
  • Conductividad térmica:300 W/mK
  • Calidad:Perfecto
  • Función:CVD-SiC
  • Solicitud:Semiconductores/Fotovoltaicos
  • Densidad:3,21 g/cc
  • Expansión térmica:4 10-6/K
  • Ceniza: <5 ppm
  • Muestra:Disponible
  • Código SA:6903100000
  • Detalle del producto

    Etiquetas de producto

    El susceptor de grafito recubierto de SiC es un componente clave utilizado en diversos procesos de fabricación de semiconductores. Utilizamos nuestra tecnología patentada para fabricar susceptores con una pureza extremadamente alta, buena uniformidad de recubrimiento y una excelente vida útil, así como propiedades de alta resistencia química y estabilidad térmica.

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    Características de nuestros productos:

    1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas hasta 1700 ℃.
    2. Alta pureza y uniformidad térmica.
    3. Excelente resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.

    4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
    5. Vida útil más larga y más duradera

    ECV SiC薄膜基本物理性能

    Propiedades físicas básicas de CVD SiCrevestimiento

    性质 / Propiedad

    典型数值 / Valor típico

    晶体结构 / Estructura cristalina

    Fase β de la FCC多晶,主要为(111)取向

    密度 / Densidad

    3,21 g/cm³

    硬度 / Dureza

    2500 libras (carga de 500 g)

    晶粒大小 / Tamaño del grano

    2~10μm

    纯度 / Pureza Química

    99,99995%

    热容 / Capacidad calorífica

    640 J·kg-1·k-1

    升华温度 / Temperatura de sublimación

    2700 ℃

    抗弯强度 / Resistencia a la flexión

    415 MPa RT de 4 puntos

    杨氏模量 / Módulo de Young

    Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃

    导热系数 / TermayoConductividad

    300W·m-1·k-1

    热膨胀系数 / Expansión Térmica (CTE)

    4,5×10-6K-1

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    2

    VET Energy es el verdadero fabricante de productos personalizados de grafito y carburo de silicio con diferentes recubrimientos como recubrimiento de SiC, recubrimiento de TaC, recubrimiento de carbón vítreo, recubrimiento de carbón pirolítico, etc., y puede suministrar varias piezas personalizadas para la industria fotovoltaica y de semiconductores.

    Nuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

    Desarrollamos continuamente procesos avanzados para proporcionar materiales más avanzados y hemos desarrollado una tecnología patentada exclusiva que puede hacer que la unión entre el recubrimiento y el sustrato sea más estrecha y menos propensa a desprenderse.

    Le damos una calurosa bienvenida a visitar nuestra fábrica, ¡discutamos más a fondo!

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