vet-china garantiza que cada DurablePaleta de manipulación de obleas de carburo de silicioTiene un excelente rendimiento y durabilidad. Esta paleta de manipulación de obleas de carburo de silicio utiliza procesos de fabricación avanzados para garantizar que su estabilidad estructural y funcionalidad permanezcan en entornos de alta temperatura y corrosión química. Este diseño innovador proporciona un excelente soporte para la manipulación de obleas semiconductoras, especialmente para operaciones automatizadas de alta precisión.
Paleta voladiza de SiCes un componente especializado utilizado en equipos de fabricación de semiconductores, como hornos de oxidación, hornos de difusión y hornos de recocido, el uso principal es para la carga y descarga de obleas, soporte y transporte de obleas durante procesos de alta temperatura.
Estructuras comunesdeSiccantipalancappodrido: Una estructura en voladizo, fija en un extremo y libre en el otro, suele tener un diseño plano y en forma de paleta.
LaboralpprincipiodeSiccantipalancappodrido:
La paleta en voladizo puede moverse hacia arriba y hacia abajo o hacia adelante y hacia atrás dentro de la cámara del horno, y puede usarse para mover obleas desde las áreas de carga a las áreas de procesamiento, o fuera de las áreas de procesamiento, soportando y estabilizando las obleas durante el procesamiento a alta temperatura.
Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado | |
Propiedad | Valor típico |
Temperatura de trabajo (°C) | 1600°C (con oxígeno), 1700°C (ambiente reductor) |
Contenido de SiC | > 99,96% |
Contenido gratuito de Si | <0,1% |
densidad aparente | 2,60-2,70 g/cm3 |
Porosidad aparente | < 16% |
Fuerza de compresión | > 600MPa |
Resistencia a la flexión en frío | 80-90 MPa (20°C) |
Resistencia a la flexión en caliente | 90-100MPa (1400°C) |
Expansión térmica @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Conductividad térmica a 1200°C | 23 W/m·K |
módulo elástico | 240 GPa |
Resistencia al choque térmico | Extremadamente bueno |