Paleta voladiza de SiC avanzada para procesamiento de obleas

Breve descripción:

La paleta voladiza de SiC avanzada para el procesamiento de obleas lanzada por vet-china utiliza materiales de SiC de alta tecnología para mejorar la eficiencia y precisión del procesamiento de obleas. La paleta en voladizo de Vet-china presenta una excelente resistencia al calor y a la corrosión, lo que garantiza un rendimiento estable en el manejo de obleas en entornos de fabricación hostiles, lo que la convierte en una opción ideal para mejorar el rendimiento de la producción.

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El avanzadoPaleta voladiza de SiCpara procesamiento de obleas creado por vet-china proporciona una excelente solución para la fabricación de semiconductores. Esta paleta en voladizo está hecha de material SiC (carburo de silicio) y su alta dureza y resistencia al calor le permiten mantener un rendimiento excelente en ambientes corrosivos y de alta temperatura. El diseño de la paleta Cantilever permite que la oblea se sostenga de manera confiable durante el procesamiento, lo que reduce el riesgo de fragmentación y daños.

Paleta voladiza de SiCes un componente especializado utilizado en equipos de fabricación de semiconductores, como hornos de oxidación, hornos de difusión y hornos de recocido, el uso principal es para la carga y descarga de obleas, soporte y transporte de obleas durante procesos de alta temperatura.

Estructuras comunesdeSiccantipalancappodrido: Una estructura en voladizo, fija en un extremo y libre en el otro, suele tener un diseño plano y en forma de paleta.

VET Energy utiliza materiales de carburo de silicio recristalizado de alta pureza para garantizar la calidad.

Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado
Propiedad	Valor típico
Temperatura de trabajo (°C)	1600°C (con oxígeno), 1700°C (ambiente reductor)
Contenido de SiC	> 99,96%
Contenido gratuito de Si	<0,1%
densidad aparente	2,60-2,70 g/cm³
Porosidad aparente	< 16%
Fuerza de compresión	> 600MPa
Resistencia a la flexión en frío	80-90 MPa (20°C)
Resistencia a la flexión en caliente	90-100MPa (1400°C)
Expansión térmica @1500°C	4.70 10^-6/°C
Conductividad térmica a 1200°C	23W/m·K
módulo elástico	240 GPa
Resistencia al choque térmico	Extremadamente bueno