La oblea de silicio tipo P de 8 pulgadas de VET Energy es una oblea de silicio de alto rendimiento diseñada para una amplia gama de aplicaciones de semiconductores, incluidas células solares, dispositivos MEMS y circuitos integrados. Conocida por su excelente conductividad eléctrica y rendimiento constante, esta oblea es la opción preferida de los fabricantes que buscan producir componentes electrónicos confiables y eficientes. VET Energy garantiza niveles de dopaje precisos y un acabado superficial de alta calidad para una fabricación óptima del dispositivo.
Estas obleas de silicio tipo P de 8 pulgadas son totalmente compatibles con diversos materiales como sustrato de SiC, oblea SOI y sustrato de SiN, y son adecuadas para el crecimiento de obleas Epi, lo que garantiza versatilidad para procesos avanzados de fabricación de semiconductores. Las obleas también se pueden utilizar junto con otros materiales de alta tecnología como el óxido de galio Ga2O3 y la oblea AlN, lo que las hace ideales para aplicaciones electrónicas de próxima generación. Su diseño robusto también encaja perfectamente en los sistemas basados en casetes, lo que garantiza un manejo de producción eficiente y de gran volumen.
VET Energy ofrece a los clientes soluciones de obleas personalizadas. Podemos personalizar obleas con diferente resistividad, contenido de oxígeno, espesor, etc. según las necesidades específicas de los clientes. Además, también brindamos soporte técnico profesional y servicio posventa para ayudar a los clientes a resolver diversos problemas encontrados durante el proceso de producción.
ESPECIFICACIONES DE OBLEAS
*n-Pm=tipo n Grado Pm,n-Ps=tipo n Grado Ps,Sl=Semiaislante
Artículo | 8 pulgadas | 6 pulgadas | 4 pulgadas | ||
notario público | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Arco(GF3YFCD)-Valor absoluto | ≤15 μm | ≤15 μm | ≤25 μm | ≤15 μm | |
Deformación (GF3YFER) | ≤25 μm | ≤25 μm | ≤40 μm | ≤25 μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Borde de oblea | biselado |
ACABADO SUPERFICIAL
*n-Pm=tipo n Grado Pm,n-Ps=tipo n Grado Ps,Sl=Semiaislante
Artículo | 8 pulgadas | 6 pulgadas | 4 pulgadas | ||
notario público | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Acabado superficial | Pulido óptico de doble cara, Si-Face CMP | ||||
Rugosidad de la superficie | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Cara de Si Ra≤0.2nm | |||
Astillas de borde | Ninguno permitido (largo y ancho ≥0,5 mm) | ||||
Sangrías | Ninguno permitido | ||||
Arañazos (Si-Cara) | Cant. ≤ 5, acumulativo | Cant. ≤ 5, acumulativo | Cant. ≤ 5, acumulativo | ||
Grietas | Ninguno permitido | ||||
Exclusión de borde | 3mm |