Ενέργεια ΕΕΚΔίσκος γραφίτη με επίστρωση καρβιδίου πυριτίουΤο , Plate, and Cover έχει σχεδιαστεί για να παρέχει κορυφαία απόδοση, παρέχοντας αξιόπιστη και συνεπή λειτουργία σε εκτεταμένη χρήση, καθιστώντας το μια βασική επιλογή για εφαρμογές επεξεργασίας πλακιδίων στη βιομηχανία ημιαγωγών. Αυτή η υψηλή απόδοσηΠλάκα γραφίτη με επίστρωση καρβιδίου πυριτίουδιαθέτει εξαιρετική αντοχή στη θερμότητα, ανώτερη θερμική ομοιομορφία και εξαιρετική χημική σταθερότητα, ιδιαίτερα σε συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας. Η κατασκευή του υψηλής καθαρότητας, σε συνδυασμό με την προηγμένη αντοχή στη διάβρωση, το καθιστά απαραίτητο για απαιτητικά περιβάλλοντα όπωςΥποδοχείς MOCVD.
Βασικά χαρακτηριστικά του δίσκου, της πλάκας και του καλύμματος γραφίτη επικάλυψης καρβιδίου πυριτίου
1. Αντίσταση στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία:Αντέχει σε θερμοκρασίες έως και 1700℃, επιτρέποντάς του να αποδίδει αξιόπιστα σε ακραίες συνθήκες.
2. Υψηλή καθαρότητα και θερμική ομοιομορφία:Η σταθερή υψηλή καθαρότητα και η ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας είναι ζωτικής σημασίας για τις εφαρμογές MOCVD.
3. Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση:Ανθεκτικό σε οξέα, αλκάλια, άλατα και διάφορα οργανικά αντιδραστήρια, εξασφαλίζοντας μακροχρόνια σταθερότητα σε διαφορετικά περιβάλλοντα.
4. Υψηλή σκληρότητα και συμπαγής επιφάνεια:Διαθέτει πυκνή επιφάνεια με λεπτά σωματίδια, βελτιώνοντας τη συνολική αντοχή και αντοχή στη φθορά.
5. Εκτεταμένη διάρκεια ζωής:Σχεδιασμένο για μακροζωία, ξεπερνώντας τα συμβατικάΥποδοχείς γραφίτη επικαλυμμένοι με καρβίδιο του πυριτίουσε σκληρά περιβάλλοντα επεξεργασίας ημιαγωγών.
CVD SiC薄膜基本物理性能 Βασικές φυσικές ιδιότητες του CVD SiCεπένδυση | |
性质 / Περιουσία | 典型数值 / Τυπική τιμή |
晶体结构 / Κρυσταλλική Δομή | FCC β φάση多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Πυκνότητα | 3,21 g/cm³ |
硬度 / Σκληρότητα | 2500 维氏硬度 (500 g φορτίο) |
晶粒大小 / Grain SiZe | 2~10μm |
纯度 / Χημική Καθαρότητα | 99,99995% |
热容 / Θερμοχωρητικότητα | 640 J·kg-1·Κ-1 |
升华温度 / Θερμοκρασία εξάχνωσης | 2700℃ |
抗弯强度 / Καμπτική αντοχή | 415 MPa RT 4 σημείων |
杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt κάμψη, 1300℃ |
导热系数 / ΘέρμαμεγάλοΑγώγιμο | 300 W·m-1·Κ-1 |
热膨胀系数 / Θερμική διαστολή (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Η τεχνογνωσία της VET Energy σε εξατομικευμένες λύσεις γραφίτη και καρβιδίου του πυριτίου
Ως αξιόπιστος κατασκευαστής, η VET Energy ειδικεύεται σε ειδικά σχεδιασμένους υποδοχείς γραφίτη και λύσεις επίστρωσης καρβιδίου του πυριτίου. Προσφέρουμε μια σειρά προϊόντων προσαρμοσμένων για τη βιομηχανία ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών, συμπεριλαμβανομένωνΣτοιχεία γραφίτη επικαλυμμένα με SiCόπως δίσκοι, πιάτα και καλύμματα. Η σειρά προϊόντων μας περιλαμβάνει επίσης διάφορες επιλογές επίστρωσης, όπως π.χΕπικάλυψη SiC για MOCVD, Επικάλυψη TaC, υαλώδη επίστρωση άνθρακα, και επίστρωση πυρολυτικού άνθρακα, διασφαλίζοντας ότι ανταποκρινόμαστε στις ποικίλες απαιτήσεις των βιομηχανιών υψηλής τεχνολογίας.
Η έμπειρη τεχνική μας ομάδα, που αποτελείται από ειδικούς από κορυφαία εγχώρια ερευνητικά ιδρύματα, παρέχει ολοκληρωμένες λύσεις υλικού για πελάτες. Βελτιώνουμε συνεχώς τις προηγμένες διαδικασίες μας, συμπεριλαμβανομένης μιας αποκλειστικής πατενταρισμένης τεχνολογίας που ενισχύει τη συγκόλληση μεταξύ της επικάλυψης καρβιδίου του πυριτίου και του υποστρώματος γραφίτη, μειώνοντας τον κίνδυνο αποκόλλησης και παρατείνοντας περαιτέρω τη διάρκεια ζωής του προϊόντος.
Εφαρμογές και Οφέλη στην Κατασκευή Ημιαγωγών
ΟΕπικάλυψη καρβιδίου πυριτίου για MOCVDκαθιστά αυτούς τους υποδοχείς γραφίτη εξαιρετικά αποτελεσματικούς σε διαβρωτικά περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας. Είτε χρησιμοποιούνται ως φορείς πλακών γραφίτη είτε ως άλλα εξαρτήματα MOCVD, αυτά τα επικαλυμμένα με καρβίδιο του πυριτίου υποδοχείς επιδεικνύουν ανώτερη ανθεκτικότητα και απόδοση. Για όσους αναζητούν αξιόπιστες λύσεις στοΥποδοχέας γραφίτη με επικάλυψη SiCτης αγοράς, ο δίσκος γραφίτη, η πλάκα και το κάλυμμα της VET Energy με επίστρωση καρβιδίου πυριτίου προσφέρουν μια στιβαρή και ευέλικτη επιλογή που ικανοποιεί τις αυστηρές απαιτήσεις της βιομηχανίας ημιαγωγών.
Εστιάζοντας στην προηγμένη επιστήμη των υλικών, η VET Energy δεσμεύεται να παρέχει λύσεις γραφίτη με επικάλυψη SiC υψηλής απόδοσης που οδηγούν την καινοτομία στην επεξεργασία ημιαγωγών και διασφαλίζουν αξιόπιστη απόδοση σε όλες τις εφαρμογές που σχετίζονται με το MOCVD.
Η VET Energy είναι ο πραγματικός κατασκευαστής προσαρμοσμένων προϊόντων γραφίτη και καρβιδίου του πυριτίου με διαφορετικές επικαλύψεις όπως επίστρωση SiC, επίστρωση TaC, επίστρωση υαλώδους άνθρακα, επίστρωση πυρολυτικού άνθρακα κ.λπ., μπορεί να παρέχει διάφορα προσαρμοσμένα εξαρτήματα για ημιαγωγούς και φωτοβολταϊκά βιομηχανία.
Η τεχνική μας ομάδα προέρχεται από κορυφαία εγχώρια ερευνητικά ιδρύματα, μπορεί να παρέχει πιο επαγγελματικές λύσεις υλικού για εσάς.
Αναπτύσσουμε συνεχώς προηγμένες διαδικασίες για την παροχή πιο προηγμένων υλικών και έχουμε επεξεργαστεί μια αποκλειστική κατοχυρωμένη με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας τεχνολογία, η οποία μπορεί να κάνει τη συγκόλληση μεταξύ της επίστρωσης και του υποστρώματος πιο σφιχτή και λιγότερο επιρρεπή σε αποκόλληση.
Σας καλωσορίζουμε θερμά να επισκεφτείτε το εργοστάσιό μας, ας συζητήσουμε περαιτέρω!